研究課題/領域番号 |
23651147
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 基金 |
研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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研究機関 | 大阪大学 |
研究代表者 |
谷口 正輝 大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (40362628)
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研究期間 (年度) |
2011
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研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2011年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
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キーワード | ゲーティングナノポア / 光導波路 / 1粒子検出 / ナノギャップ / 量子ドット / 単分子 / 酸化チタン / 微細加工 / 1分子科学 / 1分子技術 |
研究概要 |
酸化チタンの光導波路は、高い屈折率と可視光に対する高い透明性を有するため、微細化光導波路の候補の1つと期待される。しかし、酸化チタン光導波路の微細加工プロセスが開発されていないため、微細な酸化チタン光導波路の光学特性は評価されていない。本研究では、微細な酸化チタン光導波路の作製プロセスを開発し、光導波路の光学特性を評価した。作製した微細な酸化チタン光導波路は、直線形とY字分岐形の導波路に沿って赤色レーザー光(632nm)を伝搬した。直線形光導波路の伝搬損失は、9. 7 dB/ cmであった。
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