| 研究課題/領域番号 |
23654103
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
物性Ⅰ
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| 研究機関 | 神戸大学 |
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研究代表者 |
大道 英二 神戸大学, 大学院・理学研究科, 准教授 (00323634)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2012年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2011年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | 表面 / 界面 / カシミール力 / カンチレバー / メタマテリアル |
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| 研究概要 |
本研究ではメタマテリアルを用いたカシミールの人工制御に向け、カンチレバーの微小変位計測技術の開発ならびにカスタムカンチレバーの作製に向けたプロセス開発を行った。Fabry-Perot干渉計を用いた計測システムを開発し、リアルタイムで10 pmオーダーの変位検出感度を実現した。また、両面マスクアライナーを自作し、SOI基板を用いたカンチレバー作製プロセスを確立した。
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