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液中プラズマを用いた炭素系膜の成膜・改質反応の実時間計測による解明

研究課題

研究課題/領域番号 23654203
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 プラズマ科学
研究機関長崎大学

研究代表者

篠原 正典  長崎大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (80346931)

連携研究者 松田 良信  長崎大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60199817)
研究期間 (年度) 2011 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2012年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2011年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワード液中プラズマ / 反応計測 / 赤外吸収分光 / 多重内部反射 / 溶液 / 堆積物 / バイオ応用 / 実時間計測 / 膜堆積 / 炭素系膜 / 表面改質 / その場 / 実時間 / 反応過程 / カーボン / アミン基 / 多重内部反射赤外分光 / 「その場・実時間」計測 / 反応
研究概要

液中プラズマは新たなプラズマ源として期待されている。液体中での反応のため,これまでプラズマ科学の分野で開発されてきた計測手法では扱いにくく,反応の詳細が分からないという側面があった。そこで,多重内部反射赤外分光法というシリコンの内部に赤外光を透過させシリコン表面の状態を計測する手法を応用し,液中プラズマの反応プロセスを計測する手法を確立した。液中プラズマによる溶液の化学結合状態の変化および液中プラズマによる堆積物の化学状態の計測に成功した。さらに,この手法を応用し,液中プラズマによる生体モデル物質との反応の解析に成功した。液中プラズマのバイオ・医療応用の反応計測にも有効であることを示した。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実施状況報告書
  • 2011 実施状況報告書
  • 研究成果

    (39件)

すべて 2014 2013 2012 2011

すべて 雑誌論文 (14件) (うち査読あり 10件) 学会発表 (24件) (うち招待講演 2件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Reactions of Surface Hydrogen on Amorphous Carbon Films with Hydrogen Plasma2014

    • 著者名/発表者名
      Masanori Shinohara, Taka-aki Kawakami, Ko-jiro Hara, Shohei Yagi, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 号: 1 ページ: 10204-10204

    • DOI

      10.7567/jjap.53.010204

    • NAID

      210000143216

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of an in-situ infrared spectroscopic measurement of plasma-induced reactions in ethanol2014

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, A. Fuakae, K. Amano, Y. Yoshida, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: Vol. 52, No.11 号: 11S ページ: 11NC06-11NC06

    • DOI

      10.7567/jjap.52.11nc06

    • NAID

      210000143109

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Reactions of Plasma with Self-Assemble Monolayer for plasma-bio application2014

    • 著者名/発表者名
      Naoki Maruno, Yuta Yoshida, Yujiro Taniguchi, Shohei Yagi, Masanori Shinohara, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama
    • 雑誌名

      Proceedings of 8th International conference on reactive plasmas

      巻: 1

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] プラズマ工学の最新動向2014

    • 著者名/発表者名
      篠原 正典, 金 載浩
    • 雑誌名

      電気学会論文誌. A

      巻: 134 号: 1 ページ: 41-46

    • DOI

      10.1541/ieejfms.134.41

    • NAID

      130003382669

    • ISSN
      0385-4205, 1347-5533
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evolution of Hydride Components Generated by Hydrogen Plasma Irradiation of a Si(110) Surface Investigated With In Situ Infrared Absorption Spectroscopy in Multiple Internal Reflection Geometry2013

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, Y. Takami, S. Takabayashi, A. Oda, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Plasma Sci.

      巻: 41 号: 8 ページ: 1878-1883

    • DOI

      10.1109/tps.2013.2263850

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 自己組織化膜と液中プラズマとの反応の赤外分光解析2013

    • 著者名/発表者名
      吉田 裕太,丸野 尚紀,篠原 正典,松田 良信,藤山 寛
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ研究会資料

      巻: PST-13-103 ページ: 91-94

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] Surface modification of DLC film due to oxygen plasma exposure, observed by IR absorption spectroscopy in multipleinternal- reflection geometry2012

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, Y. Takaki, Y. Takami, Y. Matuda, and H. Fujiyama
    • 雑誌名

      IEEE Trans. of Plasma Science

      巻: Vo l . 40, No. 10 号: 10 ページ: 2756-2761

    • DOI

      10.1109/tps.2012.2208766

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of In-situ MIR-IRAS monitoring systm for reactions induced by so lution plasma generation2012

    • 著者名/発表者名
      A. Fukae, K. Amano, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 雑誌名

      ICRERA 2012 Proceedings

      巻: CD-ROM

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 多重内部反射赤外吸収分光法を用いたプラズマが誘起する表面反応の解析~気相プラズマから液中プラズマ~2012

    • 著者名/発表者名
      篠原正典,松田良信,藤山 寛
    • 雑誌名

      化学工業

      巻: 63 ページ: 942-946

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Effects of the surface bond states in as-deposited DLC films on the incorporation of nitrogen and oxygen atoms into the DLC films2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Nitta, K. Okamoto, T. Nakatani, M. Shinohara
    • 雑誌名

      IEEE Transactions of Plasma Science

      巻: 40 号: 8 ページ: 2073-2078

    • DOI

      10.1109/tps.2012.2203613

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation on Reactions of Hydrogen Plasma with Si surface, using infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS)2012

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, K. Hara, Y. Takami, Y. Takaki, Y. Matsuda, and H. Fujiyama
    • 雑誌名

      Proceeding of IC-PLANTS2012

      巻: 1

    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] プラズマが誘起する表面反応の赤外分光解析2011

    • 著者名/発表者名
      篠原正典,原幸治郎,高見佳生,高木雄也,深江陽大,天野勝裕,松田良信,藤山 寛
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ研究会資料

      巻: PST-11-069, ページ: 31-34

    • NAID

      10029502639

    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [雑誌論文] プラズマプロセスの赤外分光診断2011

    • 著者名/発表者名
      篠原 正典,高木雄也,原 幸治郎,高見佳生,天野勝裕,深江陽大,松田良信,藤山 寛
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ パルスパワー 合同研究会 資料

      巻: PST-11-093, PPT-11-094 ページ: 11-14

    • NAID

      10030330356

    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [雑誌論文] In-situ Infrared Spectroscopy of Plasma Induced Surface Reactions2011

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, K. Hara, Y. Takami, Y. Takaki, A. Fukae, K. Amano, Y. Matsuda, and H. Fujiyama
    • 雑誌名

      Proceeding of The 8th Asian-European Internationala Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE-2011)

      巻: 1 ページ: 345-345

    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Infrared spectroscopy of reactions induced by plasma2013

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, S. Yagi, Y. Taniguchi, N. Maruno, Y. Yoshida, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      原子分子データのフォーラム
    • 発表場所
      核融合科学研究所
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Infrared spectroscopic study of the reaction between NH-terminated self-assembled monomerand solution plasma2013

    • 著者名/発表者名
      Yuta Yoshida, Naoki Maruno, Masanori Shinohara, Yoshinobu Matsuda,and Hiroshi Fujiyama
    • 学会等名
      The 26th SYMPOSIUM ON PLASMA SCIENCE FOR MATERIALS
    • 発表場所
      九州大学医学部 百年講堂,福岡県福岡市
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Infrared spectroscopic study of the reaction between bio related molecules and air-pressureplasma2013

    • 著者名/発表者名
      Naoki Maruno, Yuta Yoshida, Masanori Shinohara, Yoshinobu Matsuda,and Hiroshi Fujiyama
    • 学会等名
      The 26th SYMPOSIUM ON PLASMA SCIENCE FOR MATERIALS
    • 発表場所
      九州大学医学部 百年講堂,福岡県福岡市
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 自己組織化膜と液中プラズマとの反応の赤外分光解析2013

    • 著者名/発表者名
      吉田裕太,丸野尚紀,篠原正典,松田良信,藤山 寛
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学,長崎県長崎市
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Carbon-related particle formation with plasma generated in liquid phas2013

    • 著者名/発表者名
      Musab Timan , M. Shinohara, Y. Yoshida, Y. Matsuda and H. Fujiyama
    • 学会等名
      Symposium of MTS-Japan
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館,神奈川県横浜市
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Infrared spectroscopy of reactions induced by plasma2013

    • 著者名/発表者名
      Masanori Shinohara, Shohei Yagi, Yujiro Taniguchi, Naoki Maruno, Yuta Yoshida, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama
    • 学会等名
      原子分子データのフォーラム
    • 発表場所
      核融合科学研究所,岐阜県土岐市
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Development of MIR-IRAS monitoring system for solution plasmas2013

    • 著者名/発表者名
      A. Fukae, K. Amano, Y. Takaki, Y. Takami, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      ISPLASMA2013
    • 発表場所
      Nagoya-Japan
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Development of In-situ MIR-IRAS monitoring system for reactions induced by solution plasma generation2012

    • 著者名/発表者名
      A. Fukae, K. Amano, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      International Conference on Renewable Energy Researches and Applications 2012
    • 発表場所
      長崎
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Development of IR monitoring system of solution plasma2012

    • 著者名/発表者名
      A. Fukae, K. Amano, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology 2012
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 多重内部反射赤外吸収分光法を用いたプラズマプロセスの計測2012

    • 著者名/発表者名
      篠原正典, 深江陽大, 天野勝裕, 高見佳生, 高木雄也, 八木翔平, 津村高成, 松田良信, 藤山 寛
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      岩手大学
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Development of IR monitoring system of solution plasm2012

    • 著者名/発表者名
      A. Fukae, K. Amano, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology
    • 発表場所
      Kyoto-Japan
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Development of In-situ MIR-IRAS monitoring systm for reactions induced by solution plasma generation2012

    • 著者名/発表者名
      A. Fukae, K. Amano, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama
    • 学会等名
      nternational Conference on Renewable Energy Research and Applications (ICRERA) 2012
    • 発表場所
      Nagasaki-Japan
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 赤外吸収分光法を用いた液中プラズマの反応解析2012

    • 著者名/発表者名
      深江陽大,天野勝裕,高木雄也,篠原正典,松田良信,藤山 寛
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会山口九州沖縄支部 第16回支部会
    • 発表場所
      九州大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 多重内部反射赤外分光法を用いた液中プラズマの反応計測法の開発2012

    • 著者名/発表者名
      深江陽大、天野勝裕、篠原正典、松田良信、藤山 寛
    • 学会等名
      九州表面・真空研究会2012(第17回九州薄膜表面研究会)
    • 発表場所
      佐賀放射光センター
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 多重内部反射赤外吸収分光法を用いた液中プラズマの診断法の開発2012

    • 著者名/発表者名
      深江陽大,天野勝裕,篠原正典,松田良信,藤山 寛
    • 学会等名
      応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 多重内部反射赤外吸収分光法を用いた液中プラズマの「その場」「実時間」反応計測法の開発2012

    • 著者名/発表者名
      深江陽大・天野勝裕・篠原正典・松田良信・藤山 寛
    • 学会等名
      電気関係学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 赤外吸収分光法計測を用いたプラズマが誘起する表面反応の解析・解明2012

    • 著者名/発表者名
      篠原正典, 高木雄也, 高見佳生, 深江陽大, 天野勝裕, 八木翔平, 津村高成, 松田良信, 藤山 寛
    • 学会等名
      九州山口プラズマ研究会
    • 発表場所
      由布院倶楽部
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 多重内部反射赤外吸収分光法を用いた液中プラズマ誘起反応の計測2012

    • 著者名/発表者名
      深江陽大、天野勝裕、高木雄也、篠原正典、松田良信、藤山 寛
    • 学会等名
      表面科学会全国大会
    • 発表場所
      東北大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Investigation on Reactions of Hydrogen Plasma with Si surface, using infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS)2012

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, K. Hara, Y. Takami, Y. Takaki, Y. Matsuda, and H. Fujiyam
    • 学会等名
      IC-PLANTS2012
    • 発表場所
      愛知県犬山市
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] In-situ Infrared Spectroscopy of Plasma Induced Surface Reactions2011

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, K. Hara, Y. Takami, Y. Takaki, A. Fukae, K. Amano, Y. Matsuda, and H. Fujiyama
    • 学会等名
      The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      大連・中国
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] プラズマが誘起する表面反応の赤外分光解析2011

    • 著者名/発表者名
      篠原正典,原幸治郎,高見佳生,高木雄也,深江陽大,天野勝裕,松田良信,藤山 寛
    • 学会等名
      電気学会プラズマ研究会
    • 発表場所
      大阪府大阪市
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] In-situ Infrared Spectroscopy of Plasma Induced Surface Reactions2011

    • 著者名/発表者名
      M. Shinohara, K. Hara, Y. Takami, Y. Takaki, A. Fukae, K. Amano, Y. Matsuda, and H. Fujiyama,
    • 学会等名
      The 8th Asian-European Internationala Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE-2011)(招待講演)
    • 発表場所
      Dlian- China
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] In-situ Monitoring of Plasma-induced Reactions with Infrared Spectroscop2011

    • 著者名/発表者名
      Masanori Shinohara
    • 学会等名
      3rd International Workshop on Plasma Scientech for All Something(招待講演)
    • 発表場所
      Beijin-China
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] プラズマプロセスの赤外分光診断2011

    • 著者名/発表者名
      篠原 正典,高木雄也,原 幸治郎,高見佳生,天野勝裕,深江陽大,松田良信,藤山 寛
    • 学会等名
      電気学会プラズマ パルスパワー 合同研究会
    • 発表場所
      神奈川県長津田市
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [産業財産権] ダイヤモンド様薄膜、その製造方法及び製造装置2012

    • 発明者名
      篠原正典 他4名
    • 権利者名
      篠原正典 他4名
    • 出願年月日
      2012
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書

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公開日: 2011-08-05   更新日: 2019-07-29  

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