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連続供給固体希ガスターゲットによるレーザープラズマ真空紫外光源の研究

研究課題

研究課題/領域番号 23654204
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 プラズマ科学
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

天野 壮  兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教 (50271200)

研究期間 (年度) 2011-04-28 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2013年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2012年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2011年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワードレーザープラズマ光源 / 真空紫外光 / 固体希ガス / 極低温 / 真空紫外 / 軟X線 / 希ガス
研究成果の概要

真空紫外領域で新型の小型・高出力光源として連続発生レーザープラズマ光源を開発した。プラズマターゲット材として冷却固化した希ガスを選び、これを連続供給する装置の開発に成功した。これによって供給されるキセノン、クリプトン、アルゴンの固体ターゲットで、Nd:YAG Qスイッチレーザーの10Hzまでの繰り返しに対応した安定なプラズマパルス連続発生に成功した。その真空紫外発光スペクトルが明らかにされ、連続的なブロード発光に固有イオンのラインスペクトルが乗っている形状であった。

報告書

(5件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 2012 実施状況報告書
  • 2011 実施状況報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2015 2014 2013 2012

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (6件)

  • [雑誌論文] Laser plasma cryogenic target on translation substrate for generation of continuously repetitive EUV and soft X-ray pulses2014

    • 著者名/発表者名
      Sho Amano
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 85

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Continuous generation of laser plasma X-ray using solid rare gas targets2015

    • 著者名/発表者名
      Sho Amano
    • 学会等名
      The 4th Advanced Laser and Photon Sources (ALPS15)
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2015-04-22 – 2015-04-24
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 固体希ガスによる連続発生レーザープラズマVUV~X線源2014

    • 著者名/発表者名
      天野 壮
    • 学会等名
      Plasma Conference 2014
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2014-11-18 – 2014-11-21
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 極低温冷凍機による連続供給レーザープラズマターゲット(III)2013

    • 著者名/発表者名
      天野壮
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      同志社大学(京都府)
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 希ガスクライオターゲットによるレーザープラズマX線の連続発生2013

    • 著者名/発表者名
      天野壮
    • 学会等名
      レーザー学会
    • 発表場所
      姫路商工会議所(兵庫県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 極低温冷凍機による連続供給レーザープラズマターゲット(II)2012

    • 著者名/発表者名
      天野壮
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      愛媛大学(愛媛県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 極低温冷凍機による連続供給レーザープラズマターゲット2012

    • 著者名/発表者名
      天野壮
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書

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公開日: 2011-08-05   更新日: 2019-07-29  

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