| 研究課題/領域番号 |
23656035
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 独立行政法人物質・材料研究機構 |
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研究代表者 |
安達 裕 独立行政法人物質・材料研究機構, 光・電子材料ユニット, 主任研究員 (30354418)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2013年度: 260千円 (直接経費: 200千円、間接経費: 60千円)
2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2011年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
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| キーワード | 酸化亜鉛 / PLD / 透明導電膜 / ドーピング / 極性 / 変調構造 / フォトルミネッセンス / 極性制御 / 不純物添加 / 分極反転デバイス / 光電子分光法 |
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| 研究概要 |
本研究では、申請者らが見出した不純物添加によるＺｎＯ薄膜の極性反転現象を応用して、極性と組成が変調した面内周期構造を持つ(Ａｌ、Ｍｇ、Ｚｎ)Ｏ薄膜をパルス・レーザー・デポジション法により作製した。この薄膜の移動度は、おなじ組成で周期反転構造を持たない薄膜よりも約１．５倍大きかった。
また、フォトルミネッセンス測定による新たなＺｎＯ薄膜の極性判定法も開発した。
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