電着薄膜の成膜過程の回折法その場観察

• 研究課題/領域番号: 23656080
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 機械材料・材料力学
• 研究機関: 横浜国立大学
• 研究代表者: 秋庭 義明 横浜国立大学, 大学院・工学研究院, 教授 (00212431)
• 連携研究者: 菖蒲 敬久 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究員 (90425562)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円); 2012年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2011年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
• キーワード: 薄膜 / 残留応力 / 結晶配向 / X線 / 電子線後方散乱 / 放射光 / 電着薄膜 / その場測定

研究概要

電着法による薄膜の形成過程における結晶配向性や残留応力の変化を,X線法および電子線後方散乱法によって観察することによって,薄膜の形成機構について検討した.銅薄膜においては,直流法およびパルス法いずれも,膜厚成長に伴う結晶配向変化は認められず,残留応力は,膜厚の増加に伴って引張側から圧縮側に残留応力が変化し,Volmer-Weber型以外の形成機構であることが示唆された.

研究成果

• [学会発表] X線回折法による金属材料の非破壊応力評価 (2013)
  • 著者名/発表者名: 秋庭義明
  • 学会等名: 日本鉄鋼協会,非線形現象を利用した非破壊的損傷評価シンポジウム
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2013-03-28
• [学会発表] X線回折法による金属材料の非破壊応力評価 (2013)
  • 著者名/発表者名: 秋庭義明
  • 学会等名: 日本鉄鋼協会，非線形現象を利用した非破壊的損傷評価シンポジウム
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] 二次元検出器走査システムを利用した応力測定法開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 張朔源,城鮎美,菖蒲敬久
  • 学会等名: 日本材料学会,第46回X線材料強度に関するシンポジウム
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2012-07-06
• [学会発表] 電着ニッケル薄膜のX線回折法による粒径と転位密度の評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 田中浩人,田中啓介,來海博央,鈴木賢治,菖蒲敬久
  • 学会等名: 日本材料学会,第46回X線材料強度に関するシンポジウム
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2012-07-06
• [学会発表] オーステナイト系ステンレス鋼のWJPによる残留応力 (2012)
  • 著者名/発表者名: 鈴木賢治,菖蒲敬久,城鮎美
  • 学会等名: 日本材料学会,第46回X線材料強度に関するシンポジウム
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2012-07-06
• [学会発表] 浸炭焼入したクロムモリブデン鋼の残留応力と硬化層の評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 坂井田喜久,山下翔平,矢代茂樹,菖蒲敬久
  • 学会等名: 日本材料学会,第46回X線材料強度に関するシンポジウム
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2012-07-06
• [学会発表] フロントエンド機器用母材無酸素銅の残留ひずみ (2012)
  • 著者名/発表者名: 佐野睦,高橋直,渡辺篤雄,北村英男,城鮎美,菖蒲敬久
  • 学会等名: 日本材料学会,第46回X線材料強度に関するシンポジウム
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2012-07-06
• [学会発表] 高エネルギ放射光X線回折法によるNi基超合金の材料評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 菖蒲敬久,近藤義宏,三浦信祐,村田純教,石山新太郎
  • 学会等名: 日本材料学会,第46回X線材料強度に関するシンポジウム
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2012-07-06
• [学会発表] 放射光白色X線によるアルミ単結晶延性損傷進展挙動の検証 (2012)
  • 著者名/発表者名: 柴野純一,木曽稔,梶原堅太郎,菖蒲敬久,三浦節男,小林道明
  • 学会等名: 日本材料学会,第46回X線材料強度に関するシンポジウム
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2012-07-06
• [学会発表] 金属ガラスの引張変形下での高エネルギー放射光ひずみ解析 (2012)
  • 著者名/発表者名: 清水健太,松田卓弥,菊地拓哉,今福宗行,才田淳,菖蒲敬久,大谷眞一
  • 学会等名: 日本材料学会,第46回X線材料強度に関するシンポジウム
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2012-07-06
• [学会発表] アルミニウム単結晶における残留応力と再結晶挙動に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 城鮎美,岡田達也,菖蒲敬久,河野智也,文屋宏友
  • 学会等名: 日本材料学会,第46回X線材料強度に関するシンポジウム
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2012-07-06
• [学会発表] X-Ray Measurement of Residual Stress Distribution in Sputtered Cu Thin Films (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. Akiniwa, T. Sakaue
  • 学会等名: Thermec 2011
  • 発表場所: Quebec, Canada
  • 年月日: 2011-08-04
• [学会発表] X-Ray Measurement of Residual Stress Distribution in Sputtered Cu Thin Films (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. Akiniwa, T. Sakaue
  • 学会等名: Thermec 2011(招待講演)
  • 発表場所: Quebec, Canada