研究概要 |
本研究では3次元幾何学的外部構造を自己組織的に形成させることにより,所望の機械的特性(変形裕度)を有する自立ナノ薄膜の創製法を開発した。すなわち,基材(樹脂犠牲層)に独立に制御した2軸の圧縮ひずみを付与することにより,ストライプ型,迷路型,非対称座屈型などの多様な周期的微小座屈(リンクル)構造を生成させた。その上に金属を成膜し,基材を分離させることにより,リンクル構造を有する自立ナノ薄膜を創製した。リンクル構造により機械的特性の制御が可能であり,最大で10%以上の破断ひずみを有する自立金属薄膜を実現した。
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