硬脆材料のインテリジェントレーザスライシング法に関する研究

• 研究課題/領域番号: 23656095
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 埼玉大学
• 研究代表者: 池野 順一 埼玉大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (10184441)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円); 2012年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円); 2011年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
• キーワード: (8)特殊加工 / (9)超精密加工 / (10)ナノマイクロ加工 / レーザ加工 / スライシング / シリコン / 硬脆材料 / シリコンウエハ / サファイアウエハ

研究概要

シリコンを透過するレーザを用いて内部に亀裂を発生させることができる。この原理を利用して面状に微小亀裂を形成すれば、無駄なくインゴットをスライスすることが可能と考えた。実験の結果、剥離によってウエハを作成することに成功した。さらに、切断時に3次元微小構造を形成しつつスライシングすることにも成功した。これは従来方法では全く不可能な加工法である。以上より、新しいスライシング法を実現し、そのインテリジェント化に成功した。

研究成果

• [雑誌論文] The formation of micro-glass ball and its applications (2012)
  • 著者名/発表者名: M.R.Zainudin,Y.Ishida, S.Yoshida, J.Ikeno
  • 雑誌名: Proceedings of the 12th euspen internationalconference (Stockholm) 巻: vol.2 ページ: 533-536
  • 査読あり
• [雑誌論文] レーザ異種金属接合に関する研究～第2報:真鍮とステンレス鋼のレーザ突合せ接合 (2012)
  • 著者名/発表者名: 佐々木淳,池野順一
  • 雑誌名: 砥粒加工学会誌
  • NAID: 10030612078
  • 査読あり
• [雑誌論文] 銅とステンレス鋼のレーザ異種材料接合 (2012)
  • 著者名/発表者名: 佐々木淳,池野順一
  • 雑誌名: 精密工学会誌
  • NAID: 130002122195
  • 査読あり
• [雑誌論文] The formation of micro-glass ball and its applications (2012)
  • 著者名/発表者名: M.R.Zainudin,Y.Ishida, S.Yoshida, J.Ikeno
  • 雑誌名: Proceedings of the 12th euspen international conference 巻: 2 ページ: 533-536
  • 査読あり
• [雑誌論文] Laser Butt Welding of Brass and Stainless Steel (2011)
  • 著者名/発表者名: Makoto SASAKI,Junichi IKENO
  • 雑誌名: Journal of Advanced Mechanical Design,Systems, and Manufacturing 巻: Vol.5,No.4 ページ: 347-357
  • NAID: 130001293350
  • 査読あり
• [雑誌論文] レーザ異種金属接合に関する研究-ステンレス鋼と銅の突き合わせ接合- (2011)
  • 著者名/発表者名: 佐々木淳,池野順一
  • 雑誌名: 砥粒加工学会誌
  • 査読あり
• [学会発表] アクリル樹脂のレーザ内部加工に関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 栗幅将樹,森貴章,池野順一
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集,607-608
  • 発表場所: 東京工業大学
  • 年月日: 2013-03-15
• [学会発表] 結晶成長を利用したレーザ微細加工に関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 石田雄一,上柳将大,池野順一
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集,601-602
  • 発表場所: 東京工業大学
  • 年月日: 2013-03-15
• [学会発表] 3次元レーザスライシングに関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 関根大輔,池野順一,篠塚信裕,鈴木秀樹
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集,597-598
  • 発表場所: 東京工業大学
  • 年月日: 2013-03-15
• [学会発表] SiCのレーザエッチングに関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 水川健,菅野雄登,池野順一,阿部耕三
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集,591-592
  • 発表場所: 東京工業大学
  • 年月日: 2013-03-14
• [学会発表] 3次元レーザスライシングに関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 関根大輔、池野順一、篠塚信裕、鈴木秀樹
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] 有機材料のレーザ微細加工に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 池野順一
  • 学会等名: 日本機械学会機械材料・材料加工部門第20回機械材料・材料加工技術講演会論文集CD
  • 発表場所: 大阪工業大学
  • 年月日: 2012-12-01
• [学会発表] レーザスライシング法に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 関根大輔,大橋一樹,池野順一,澁谷秀雄,松尾利香,篠塚信裕,鈴木秀樹
  • 学会等名: 日本機械学会[No.12-11]第9回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集
  • 発表場所: 秋田県立大学
  • 年月日: 2012-10-27
• [学会発表] アクリル導光板のレーザ微細加工に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 森貴章・池野順一・柴田圭輔
  • 学会等名: 2012年度精密工学会秋季大会学術講演論文集,811～812
  • 発表場所: 九州工業大学
  • 年月日: 2012-09-14
• [学会発表] 表面張力を利用したレーザ加工とその応用 (2012)
  • 著者名/発表者名: 石田雄一,Muhammad Razif, 池野順一
  • 学会等名: 2012年度砥粒加工学会学術講演会講演論 文集,425-426
  • 発表場所: 同志社大学
  • 年月日: 2012-08-31
• [学会発表] 銅合金とステンレス鋼のレーザ突合せ接合 (2012)
  • 著者名/発表者名: 佐々木淳,池野順一
  • 学会等名: 2012 年度精密工学 会春季大会学術講演論文集, 11-12
  • 発表場所: 首都大学東京
  • 年月日: 2012-03-14
• [学会発表] 表面張力を利用したレーザ加工とその応用 (2012)
  • 著者名/発表者名: 石田雄一，Muhammad Razif，池野順一
  • 学会等名: 2012年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
  • 発表場所: 同志社大学
• [学会発表] アクリル導光板のレーザ微細加工に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 森 貴章・池野順一・柴田圭輔
  • 学会等名: 2012年度精密工学会秋季大会学術講演論文集
  • 発表場所: 九州工業大学
• [学会発表] レーザによるシリコンインゴットのスライシング (2012)
  • 著者名/発表者名: 池野順一
  • 学会等名: 一般財団法人光産業技術振興協会平成 24 年度多元技術融合光プロセス研究会第２回研究交流会
  • 発表場所: 産業総合技術研究所
  • 招待講演
• [学会発表] レーザ微細加工の最近の話題 (2012)
  • 著者名/発表者名: 池野順一
  • 学会等名: レーザ協会地方講演会in山形レーザ協会
  • 発表場所: 山形工業技術センター
  • 招待講演
• [学会発表] レーザ微細加工の基礎から最新の動向まで (2012)
  • 著者名/発表者名: 池野順一
  • 学会等名: 公益財団法人横浜企業経営支援財団
  • 発表場所: 横浜企業経営支援財団ビル
  • 招待講演
• [学会発表] レーザスライシング法に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 関根大輔，大橋一樹，池野順一，澁谷秀雄，松尾利香，篠塚信裕，鈴木秀樹
  • 学会等名: 日本機械学会［No.12-11］第9回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集
  • 発表場所: 秋田県立大学
• [学会発表] 有機材料のレーザ微細加工に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 池野順一
  • 学会等名: 日本機械学会 機械材料・材料加工部門第20回機械材料・材料加工技術講演会論文集
  • 発表場所: 大阪工業大学
• [学会発表] シリコンウエハのレーザスライシング (2012)
  • 著者名/発表者名: 池野順一
  • 学会等名: Photonix2012
  • 発表場所: ビッグサイト
  • 招待講演
• [学会発表] レーザ微細加工技術の基礎と事例紹介 (2012)
  • 著者名/発表者名: 池野順一
  • 学会等名: 公益財団法人千葉県産業振興センター第5回イブニングセミナー
  • 発表場所: 千葉県産業振興センター
  • 招待講演
• [学会発表] レーザスライシング (2012)
  • 著者名/発表者名: 池野順一
  • 学会等名: 砥粒加工学会(招待講演)
  • 発表場所: 富山大学
• [学会発表] ナノ粒子を用いたレーザカラーマーキング法の研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 竹内智浩,佐藤健一,池野順一
  • 学会等名: 2011年度精密工学会秋季大会学術講演 論文集,599-600
  • 発表場所: 金沢大学
  • 年月日: 2011-09-21
• [学会発表] シリコンウエハのレーザスライシングに関する研究(第2報) (2011)
  • 著者名/発表者名: 松尾利香,国司洋介,鈴木秀樹,茶花幸一,白石真之,池野順一
  • 学会等名: 2011年度精密工学会秋季大会学術講演論文集,613-614
  • 発表場所: 金沢大学
  • 年月日: 2011-09-21
• [学会発表] 銀ナノワイヤ透明導電性膜のレーザ絶縁処理に関する研究(第二報) (2011)
  • 著者名/発表者名: 水川健,池野順一,松尾利香,国司洋介,鈴木秀樹
  • 学会等名: 2011年度精密工学会秋季大会学術講演論文集,601-602
  • 発表場所: 金沢大学
  • 年月日: 2011-09-21
• [学会発表] 銅とステンレス鋼のレーザ異材接合 (2011)
  • 著者名/発表者名: 佐々木淳,池野順一
  • 学会等名: 2011年度精密工学会秋季大会学術講演論文集,611-612
  • 発表場所: 金沢大学
  • 年月日: 2011-09-21
• [学会発表] (2011)
  • 著者名/発表者名: 茶花幸一,白石真之,池野順一,松尾利香,鈴木秀樹,国司洋介
  • 学会等名: 2011年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集,367-368
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2011-09-07
• [学会発表] レーザカラーマーキングに関する研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 森貴章,池野順一,竹内
  • 学会等名: 2011年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集,365-366
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2011-09-07
• [学会発表] 銅とステンレス鋼のレーザ異材接合～試料表面におけるレーザ反射率の影響～ (2011)
  • 著者名/発表者名: 佐々木淳,池野順一
  • 学会等名: 2011年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集,363-364
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2011-09-07
• [学会発表] 表面プラズモンを利用したレーザカラーマーキング法の研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 菅原大祐,竹内智浩,森貴章,池野順一,森田恭隆,朝岡淳一,野崎喜敬,多幡能徳
  • 学会等名: 2011年度精密工学会春季大会学術講演論文集,1011-1012
  • 発表場所: 東洋大学
  • 年月日: 2011-03-14
• [学会発表] サファイアのレーザスライシングに関する研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 茶花幸一,池野順一
  • 学会等名: 2011年度精密工学会春季大会学術講演論文集,159-160
  • 発表場所: 東洋大学
  • 年月日: 2011-03-14
• [学会発表] シリコンウエハのレーザスライシングに関する研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 伊東宏季,池野順一,松尾利香,国司洋介,鈴木秀樹
  • 学会等名: 2011年度精密工学会春季大会学術講演論文集,157-158
  • 発表場所: 東洋大学
  • 年月日: 2011-03-14
• [学会発表] 銅合金とステンレス鋼のレーザ異材接合 (2011)
  • 著者名/発表者名: 佐々木淳,池野順一
  • 学会等名: 2011年度精密工学会春季大会学術講演論文集,131-132
  • 発表場所: 東洋大学
  • 年月日: 2011-03-14
• [学会発表] 窒化アルミニウムを用いたレーザ配線作製技術に関する研究(第二報) (2011)
  • 著者名/発表者名: 小野寺洋平,池野順一
  • 学会等名: 2011年度精密工学会春季大会学術講演論文集,117-118
  • 発表場所: 東洋大学
  • 年月日: 2011-03-14
• [学会発表] 銀ナノワイヤ透明導電膜のレーザ絶縁処理に関する研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 水川健,池野順一,松尾利香,国司洋介,鈴木秀樹
  • 学会等名: 2011年度精密工学会春季大会学術講演論文集,113-114
  • 発表場所: 東洋大学
  • 年月日: 2011-03-14
• [学会発表] シリコンウエハのレーザスライシングに関する研究（第2報） (2011)
  • 著者名/発表者名: 池野順一，松尾利香他
  • 学会等名: 精密工学会
  • 発表場所: 金沢大学
• [備考]
  • URL: http://spe.mech.saitama-u.ac.jp/
• [産業財産権] 内部加工層形成方法、内部加工層形成 部材、および、表面3次元構造部材 (2013)
  • 発明者名: 池野順一
  • 権利者名: 埼玉大学
  • 産業財産権番号: 2013-038229
  • 出願年月日: 2013-02-28
• [産業財産権] 内部加工層形成方法、内部加工層形成部材、および、表面３ 次元構造部材 (2013)
  • 発明者名: 池野順一
  • 権利者名: 池野順一
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2013-038229
  • 出願年月日: 2013-02-28
• [産業財産権] 単結晶加工部材およびその製造方法 (2012)
  • 発明者名: 池野順一
  • 権利者名: 埼玉大学
  • 産業財産権番号: 2012-020346
  • 出願年月日: 2012-02-01