| 研究課題/領域番号 |
23656097
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
高橋 哲 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (30283724)
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| 研究分担者 |
高増 潔 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (70154896)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2012年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2011年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 精密位置決め / 加工計測 / 微細構造 / 非破壊計測 / 内部情報計測 / 高分解能計測 / 回折限界超越 / 回折限界 |
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| 研究概要 |
従来,断面を切りだした後,電子顕微鏡等で高分解能観察するといった破壊計測をせざるをえなかったナノインプリント加工表面等の高アスペクト次世代ナノ微細構造加工表面の非破壊内部情報計測を目指した.プラズモン共鳴を利用した近接場光応答を検出することで,ナノインプリント加工表面内部情報(残膜厚)の定量評価が可能であることを,マクスウェル方程式に基づいた計算機シミュレーションおよび基礎実験により示した.
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