エバネッセント光を用いた超精密切削加工における工具-工作物接触状態の直接的検出

研究課題

研究課題/領域番号	23656098
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東京工業大学
研究代表者	吉岡勇人東京工業大学, 精密工学研究所, 准教授 (90361758)
研究期間 (年度)	2011 – 2012
研究課題ステータス	完了 (2012年度)
配分額 *注記	3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円) 2012年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円) 2011年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
キーワード	精密位置決め / 加工計測 / 超精密加工 / 接触状態 / エバネッセント光 / 工具 / 工作物 / 非接触 / ダイヤモンド
研究概要	本研究は従来有効な方法がなかった切削加工における工具-工作物間距離の精密検出に関して,工具刃先付近にエバネッセント光を発生させその変化を検出する手法を提案および検証した.実験の結果,提案する原理によって相対距離の検出が可能であること,種々の工作物材料に対して適用可能であること,実際の加工においても有効であることを確認した.本研究の成果を応用することで,これまで以上の精密加工の実現が期待できる。