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シリコン結晶基板の新しい微細加工技術の開発:内部・三次元・任意形状除去加工

研究課題

研究課題/領域番号 23656109
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関徳島大学

研究代表者

松尾 繁樹  徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授 (20294720)

研究分担者 直井 美貴  徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 教授 (90253228)
研究期間 (年度) 2011 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2011年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
キーワードシリコン / フェムト秒レーザー / 赤外パルス / エッチング / フッ硝酸
研究概要

研究代表者らは,超短パルスレーザーの集光照射とエッチングとによる透明固体材料基板の内部・三次元・任意形状除去加工に関する研究を行ってきた。本研究では,可視光に対しては不透明だが波長がおよそ 1.1 μm 以上の赤外光に対しては透明なシリコン結晶基板の加工に取り組んだ。種々のエッチング液を試みた結果,フッ硝酸水溶液でエッチングを行うことにより,基板裏面で照射部位をある程度選択的に除去することに成功した。

報告書

(3件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実施状況報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて 2013 その他

すべて 学会発表 (2件) 備考 (1件)

  • [学会発表] Three-Dimensional Micro Modification and Selective Etching of Crystalline Silicon Using 1.56-μmSubpicosecond Laser Pulses2013

    • 著者名/発表者名
      松尾繁樹 他
    • 学会等名
      CLEO Pacific Rim
    • 発表場所
      国立京都国際会館(京都府)
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Three-Dimensional Micro Modification and Selective Etching of Crystalline Silicon Using 1.56-μm Subpicosecond Laser Pulses2013

    • 著者名/発表者名
      松尾繁樹
    • 学会等名
      CLEO Pacific Rim
    • 発表場所
      国立京都国際会館(京都府)
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.opt.tokushima-u.ac.jp/lab/a-4/matsuos/matsuos_j.html

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書

URL: 

公開日: 2011-08-05   更新日: 2019-07-29  

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