ダイヤモンドパワーデバイス製作のための超平坦面創成プロセスの開発

• 研究課題/領域番号: 23656110
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 熊本大学
• 研究代表者: 久保田 章亀 熊本大学, 大学院・自然科学研究科, 准教授 (80404325)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円); 2012年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円); 2011年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
• キーワード: 超精密加工 / 研磨 / ダイヤモンド / 精密研磨 / 精密部品加工 / 先端機能デバイス

研究概要

パワー半導体デバイス製造でダイヤモンド基板に求められる要求を満足するために,われわれは,過酸化水素水中において鉄の表面上で生成される活性種を利用した新しい研磨方法を開発し,この手法を単結晶ダイヤモンド表面の平坦化に適用した.その結果,ダイヤモンド基板全面の平坦化を実現するとともに, 表面粗さが RMS:0.082 nm の超平滑表面を得ることに成功した

研究成果

• [雑誌論文] SurfaceSmoothing of Single Crystal Diamond(100) Substrate by Polishing Technique (2012)
  • 著者名/発表者名: Akihisa Kubota, Sakae Fukuyama, YuyaIchimori and Mutsumi Touge
  • 雑誌名: Diamond and related materials 巻: 24(2012) ページ: 59-62
  • 査読あり
• [雑誌論文] Surface Smoothing of Single Crystal Diamond (100) Substrate by Polishing Technique (2012)
  • 著者名/発表者名: Akihisa Kubota, Sakae Fukuyama, Yuya Ichimori and Mutsumi Touge
  • 雑誌名: Diamond and related materials 巻: 24 ページ: 59-62
  • DOI: 10.1016/j.diamond.2011.10.022
  • 査読あり
• [学会発表] 鉄の反応性を利用した難加工材料の精密加工法に関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 永江伸,久保田章亀,峠 睦
  • 学会等名: 日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会
  • 発表場所: 阿蘇ファームランド
  • 年月日: 2013-03-06
• [学会発表] 紫外光を利用した難加工材料の高能率・高精度加工法の開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 田北隆浩,久保田章亀,峠 睦
  • 学会等名: 日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会
  • 発表場所: 阿蘇ファームランド
  • 年月日: 2013-03-06
• [学会発表] 高能率・高精度研磨法の新提案 (2013)
  • 著者名/発表者名: 田北隆浩，久保田章亀，本山修也
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] 鉄の反応性を利用したダイヤモンド基板表面平滑化法に関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 永江 伸，久保田章亀，本山修也，峠 睦
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] 紫外光照射を援用した単結晶ダイヤモンド表面の平坦化加工 (2012)
  • 著者名/発表者名: 田北隆浩, 本山修也, 久保田章亀, 峠 睦
  • 学会等名: 2012 年度公益財団法人精密工学会九州支部第13回学生研究発表会
  • 発表場所: 福岡工業大学
  • 年月日: 2012-12-08
• [学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板の超平坦化 (2012)
  • 著者名/発表者名: 久保田章亀,峠 睦
  • 学会等名: 応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第21回講演会
  • 発表場所: 大阪中央公会堂
  • 年月日: 2012-11-08
• [学会発表] Ultra-precision polishing method forsingle-crystal diamond substrate inhydrogen peroxide solution (2012)
  • 著者名/発表者名: Akihisa Kubota, Shuya Motoyama, SakaeFukuyama, Mutsumi Touge
  • 学会等名: the TenthInternational Conference on Progressof Machining Technology
  • 発表場所: 新潟県 燕三条地場産業振興センター
  • 年月日: 2012-09-25
• [学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板表面平滑化加工法の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 本山修也,久保田章亀,峠 睦
  • 学会等名: 2012 年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 九州工業大学
  • 年月日: 2012-09-14
• [学会発表] 鉄の反応性を利用したダイヤモンド基板表面平滑化法に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 永江 伸,久保田章亀,本山修也,峠 睦
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京工業大学
  • 年月日: 2012-03-15
• [学会発表] 高能率 ・高精度研磨法の新提案 (2012)
  • 著者名/発表者名: 田北隆浩,久保田章亀,本山修也,峠 睦
  • 学会等名: 2013年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京工業大学
  • 年月日: 2012-03-15
• [学会発表] 触媒反応援用研磨法による単結晶ダイヤモンド基板表面の超平坦化 (2012)
  • 著者名/発表者名: 久保田章亀,峠 睦
  • 学会等名: 2012 年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 首都大学東京
  • 年月日: 2012-03-15
• [学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板表面平滑化加工法の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 本山修也，久保田章亀，峠 睦
  • 学会等名: 2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 九州工業大学
• [学会発表] Ultra-precision polishing method for single-crystal diamond substrate in hydrogen peroxide solution (2012)
  • 著者名/発表者名: Akihisa Kubota, Shuya Motoyama, Sakae Fukuyama, Mutsumi Touge
  • 学会等名: The Tenth International Conference on Progress of Machining Technology
  • 発表場所: 新潟県 燕三条地場産業振興センター
• [学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板の超平坦化 (2012)
  • 著者名/発表者名: 久保田 章亀，峠 睦
  • 学会等名: 応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第21回講演会
  • 発表場所: 大阪中央公会堂
• [学会発表] 紫外光照射を援用した単結晶ダイヤモンド表面の平坦化加工 (2012)
  • 著者名/発表者名: 田北隆浩，本山修也，久保田章亀，峠 睦
  • 学会等名: 2012年度公益財団法人精密工学会九州支部第13回学生研究発表会
  • 発表場所: 福岡工業大学
• [学会発表] 触媒反応援用研磨法による単結晶ダイヤモンド基板表面の超平坦化 (2012)
  • 著者名/発表者名: 久保田章亀，峠 睦
  • 学会等名: 2012年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 首都大学東京（東京都，日本）
• [学会発表] 単結晶ダイヤモンドの超平滑化加工 (2011)
  • 著者名/発表者名: 久保田章亀, 峠 睦
  • 学会等名: 応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第20回講演会
  • 発表場所: ウィンクあいち
  • 年月日: 2011-12-08
• [学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板の超平坦化加工法に関する基礎的研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 久保田章亀,一森佑也,峠 睦
  • 学会等名: 2011 年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 金沢大学
  • 年月日: 2011-09-22
• [学会発表] 単結晶ダイヤモンドの超平滑化加工 (2011)
  • 著者名/発表者名: 久保田章亀，峠 睦
  • 学会等名: 応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第20回講演会
  • 発表場所: ウィンクあいち（愛知県，日本）
• [学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板の超平坦化加工法に関する基礎的研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 久保田章亀，一森佑也，峠 睦
  • 学会等名: 2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 金沢大学（石川県，日本）
• [産業財産権] 加工方法及び加工装置 (2012)
  • 発明者名: 久保田章亀,峠 睦
  • 権利者名: 熊本大学
  • 産業財産権番号: 2012-192834
  • 出願年月日: 2012-09-03
• [産業財産権] 加工方法及び加工装置 (2012)
  • 発明者名: 久保田章亀，峠 睦
  • 権利者名: 久保田章亀，峠 睦
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2012-09-03