| 研究課題/領域番号 |
23656111
|
|---|
| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 研究分野 |
生産工学・加工学
|
|---|
| 研究機関 | 光産業創成大学院大学 |
|---|
研究代表者 |
花山 良平 光産業創成大学院大学, 光産業創成研究科, 助教 (20418924)
|
|---|
| 研究分担者 |
石井 勝弘 光産業創成大学院大学, 光産業創成研究科, 准教授 (30311517)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
|
| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2012年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2011年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
|
|---|
| キーワード | 精密位置決め・加工計測 / 光干渉計測 / 非球面形状計測 / 零位法 / 空間位相変調器 / 波長走査干渉法 / 超精密計測 / 応用光学・量子光工学 / 精密部品加工 |
|---|
| 研究概要 |
本研究では参照面不要を特徴とする2つの干渉計の構築を行った。1つには光軸に対して回転方向と半径方向の直交する2方向のシアリング干渉計測を可能とする極座標系シアリング干渉計の構築に成功した。次に液晶空間光位相変調器を参照鏡に用いた零位法干渉計の構築を行い、測定のダイナミックレンジを向上させることが可能であることを示した。また、干渉縞位相検出手法のあらたな評価方法を開発し、位相検出手法の改良を行った。
|
