研究課題/領域番号 |
23656129
|
研究種目 |
挑戦的萌芽研究
|
配分区分 | 基金 |
研究分野 |
流体工学
|
研究機関 | 東京大学 |
研究代表者 |
杉井 康彦 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (90345108)
|
研究期間 (年度) |
2011 – 2012
|
研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
|
配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2012年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2011年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
|
キーワード | 毛管凝縮 / ナノ構造体 / 凝縮速度 / 熱工学 / 可視化 |
研究概要 |
小型でかつ高性能なマイクロヒートパイプや潜熱回収型熱交換器の開発のため、マイクロ流路内のナノ構造体による毛管凝縮の熱流動現象の評価法を検討した。 電子線描画装置、ドライエッチング装置および集束イオンビーム加工観察装置を用いて、ガラス基板とシリコン基板の加工法を検討し、基板上に直径500nm程度の円錐形の細孔の形成に成功した。環境制御型SEMを用いて、作成したナノ構造体の間に凝縮する水の可視化計測法を開発した。低真空・水蒸気雰囲気下で観察ステージを冷却することにより、凝縮した水を観察することが可能となった。
|