研究課題/領域番号 |
23656140
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 基金 |
研究分野 |
流体工学
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研究機関 | 京都大学 (2012) 大阪大学 (2011) |
研究代表者 |
新宅 博文 京都大学, 大学院・工学研究科, 助教 (80448050)
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研究分担者 |
川野 聡恭 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 教授 (00250837)
土井 健太郎 (土井 謙太郎) 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 准教授 (20378798)
日比野 浩 新潟大学, 医歯学系, 教授 (70314317)
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研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2012年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2011年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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キーワード | 流体計測 / マイクロ流体 / MEMS / 微小流路 / 生体計測 |
研究概要 |
本研究では,ネガ型フォトレジストとグレースケールリソグラフィを用いた微細加工技術を開発した.そして,加工技術の応用例として厚み変化を有する微小振動梁アレイを製作し,広帯域で機能する音響センサを提案した.また,本加工技術により製作できるポア構造を利用して電場集中を誘導し,低電圧の細胞の電気穿孔法を可能とし,高精度の電流計測から局所電場計測を可能にした.
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