研究課題/領域番号 |
23656231
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 基金 |
研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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研究機関 | 宇都宮大学 |
研究代表者 |
白石 和男 宇都宮大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (90134056)
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研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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配分額 *注記 |
3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2012年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2011年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
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キーワード | 偏光子 / サブ波長格子 / 中赤外 / テラヘルツ / 異方性エッチング |
研究概要 |
従来の偏光子より格段に優れた偏光子を実現した。(1)テラヘルツ帯用偏光子:熱インプリント法を用いることにより量産性に優れ、かつ高性能な偏光子の作製方法を確立した。2THzにおいて挿入損失 0.2dB以下、消光比50dBの高特性を得た。当初目標の数値を達成した。(2)中赤外域用偏光子: 厚さ0.3mmのシリコン基板の両面に三重の金属薄膜多重格子構造サブ波長偏光子を作製した。波長18μmにおいて挿入損失1.0dB、消光比32dBの高特性を得ることができた。当初目標に近い値を達成した。偏光子自体を基板の反射防止構造として利用する方法を見出し、当初目標とした数値を達成できる見込みを得た。
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