| 研究課題/領域番号 |
23656260
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
櫛引 淳一 東北大学, 大学院・工学研究科, 名誉教授 (50108578)
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| 研究分担者 |
荒川 元孝 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (00333865)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2012年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2011年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | 超音波マイクロスペクトロスコピー技術 / 薄膜 / 音響特性計測 / 不純物 / 欠陥 |
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| 研究概要 |
超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)技術をガラス薄膜の評価に適用した。RFイオンビームスパッタリング法により、2枚のSiO_2ガラス基板上にSiO_2/Ta_2O_5多層膜を成膜し、そのうちの1枚を熱処理した。直線集束ビーム超音波材料解析システムにより漏洩弾性表面波(LSAW)速度の周波数特性を測定することにより、熱処理によるLSAW速度変化を捉えた。また、RFスパッタリング法によりTiO_2-SiO_2薄膜をSiO_2ガラス基板およびTiO_2-SiO_2ガラス基板上に製膜し、膜の仮想温度変化に起因するLSAW速度変化を捉えた。
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