| 研究課題/領域番号 |
23656386
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
金属物性
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
有田 誠 九州大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (30284540)
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| 研究分担者 |
生駒 嘉史 九州大学, 工学研究院, 助教 (90315119)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2013年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2011年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 酸化亜鉛 / 薄膜 / KFM / ケルビンフォース顕微鏡 / 透明導電膜 |
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| 研究概要 |
高性能透明導電性薄膜の開発に向け、ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)とAlおよびMgのドーピングを施した酸化亜鉛(AZMgO)からなるモジュレーションドーピング構造の薄膜を作製し、そのバンド構造についてケルビンフォース顕微鏡(KFM)を用いて解析することで構造最適化手法の確立を目指した。
作製した薄膜試料の劈開面およびイオンビームにより斜めに削り出した面をKFMにより観察し、多層構造とバンド構造の関係を調査した。薄膜試料を構成する各層のさらなる特性向上という課題は残されるものの、モジュレーションドーピング型透明導電性薄膜の構造設計最適化におけるKFMによる解析手法の有効性が示された。
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