三次元ナノパターンを繰り返し書き換え可能な自己治癒性金属薄膜デバイスの試作

• 研究課題/領域番号: 23656421
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 構造・機能材料
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 山本 篤史郎 東北大学, 金属材料研究所, 助教 (40334049)
• 研究期間 (年度): 2011
• 研究課題ステータス: 完了 (2011年度)
• 配分額: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円); 2011年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
• キーワード: アモルファス材料 / ガラス転移 / 自己治癒性 / ナノインプリント

研究概要

抵抗加熱式真空蒸着装置を用いて, 厚さ約60nmのPd-Cu-Ge金属ガラス薄膜をSiウエハー基板上に作製し, ガラス転移温度ならびに結晶化温度を電気抵抗測定により評価した.これらの温度近傍まで加熱した後に, 薄膜の膜厚, 密度, 表面粗さをX線反射率測定で評価した.これらの値は特に結晶化によって大きく変化した.すなわち, 結晶化によって密度が増大し, 密度の増大に対応して膜厚が減少した.また, 結晶化によって表面粗さが増大した.

研究成果

• [雑誌論文] Radial and longitudinal variations in the Young's modulus of a Zr_<55> Al_<10> Ni_5Cu_<30> bulk metallic glass rod (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Yamamoto, H. Kimura and A. Inoue
  • 雑誌名: Materials Science and Engineering A 巻: 534 ページ: 459-464
  • 査読あり
• [雑誌論文] Precipitation in Zr-based ternary alloys during quenching (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Yamamoto, Y. Yokoyama and A. Inoue
  • 雑誌名: Materials Science Forum 巻: 706-709 ページ: 1348-1352
  • 査読あり
• [雑誌論文] Structural relaxation and crystallization processes in Cu_<55> Hf_<25> Ti_<15> Pd_5 metallic glassy alloy (2012)
  • 著者名/発表者名: D. V. Louzguine-Luzgin, I. Seki, T. Yamamoto, H. Kawaji, C. Suryanarayana and A. Inoue
  • 雑誌名: Intermetallics 巻: 23 ページ: 177-181
  • 査読あり
• [雑誌論文] Radial and longitudinal variations in the Young's modulus of a Zr_<55>Al_<10>Ni_5Cu_<30> bulk metallic glass rod (2012)
  • 著者名/発表者名: T.Yamamoto, ほか
  • 雑誌名: Materials Science and Engineering A 巻: 534 ページ: 459-464
  • DOI: 10.1016/j.msea.2011.11.094
  • 査読あり
• [雑誌論文] Structural relaxation and crystallization processes in Cu_<55>Hf_<25>Ti_<15>Pd_5 metallic glassy alloy (2012)
  • 著者名/発表者名: D.V.Louzguine-Luzgin, ほか
  • 雑誌名: Intermetallics 巻: 23 ページ: 177-181
  • DOI: 10.1016/j.intermet.2011.11.019
  • 査読あり
• [学会発表] Pd基アモルファス合金薄膜の結晶化過程におけるX線反射率測定 (2012)
  • 著者名/発表者名: 山本篤史郎, 林好一, 鈴木宏輔, 伊藤正久
  • 学会等名: 応用物理学会2012年(平成24年)春季講演会
  • 発表場所: 早稲田大学
  • 年月日: 2012-03-15