新規パルスレーザー堆積法による深紫外線発光素子の作製

研究課題

研究課題/領域番号	23656444
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	材料加工・処理
研究機関	東北大学
研究代表者	中村貴宏東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (50400429)
研究期間 (年度)	2011 – 2012
研究課題ステータス	完了 (2012年度)
配分額 *注記	3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円) 2012年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円) 2011年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
キーワード	薄膜プロセス / レーザー / パルスレーザー堆積法 / 深紫外発光素子 / フェムト秒パルスレーザー / 冷凍ターゲット
研究概要	本研究では,薄膜作製法の一つであるパルスレーザー堆積法(PLD法)に冷凍ターゲットと高強度フェムト秒パルスとを組み合わせた,新しい概念のPLD法の開発と,その応用として高品質窒化硼素薄膜の作製を目的に研究を行った.専用の製膜装置を設計・製作したのち,冷凍ベンゼンターゲットを対象としたレーザー照射によってsp3結合を含むダイヤモンド様炭素薄膜の作製に成功するとともに,深紫外発光素子にむけた窒化硼素薄膜作製のための要素技術を確立した.

報告書

(2件)