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リソグラフィー技術と合金の相分離現象を融合した超高アスペクト比微細加工法の創成

研究課題

研究課題/領域番号 23656446
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 材料加工・処理
研究機関東北大学

研究代表者

小泉 雄一郎  東北大学, 金属材料研究所, 准教授 (10322174)

研究分担者 西山 宏昭  山形大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (80403153)
研究期間 (年度) 2011 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2012年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2011年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワード転位 / 析出 / Ti-Al合金 / 微細加工 / リソグラフィー / 相分離 / 塑性ひずみ / 相変態 / チタンーアルミ合金 / 層状組織 / 選択溶解 / 核生成・成長
研究概要

合金の相分離現象には高アスペクト比のナノ構造を自発的に形成するものが多い。本研究では、大気中での超微細塑性加工を活用し相分離の起点を一定間隔に制御する新しい加工技術を開発している。層状組織を形成するTi-Al合金に注目し、超微細塑性加工によるγ-TiAl相析出サイトの制御を試みた。超微細塑性加工後のTEM観察の結果、変形部の下にのみ(0001)面に沿う高密度な転位帯の形成が認められた。1173 Kにて二相化焼鈍を施すと変形部にのみγ相が析出した。すなわち超微細加工により析出物の位置の制御に成功した。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実施状況報告書
  • 2011 実施状況報告書
  • 研究成果

    (25件)

すべて 2014 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (22件) (うち招待講演 6件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Selective pore growth on lamellar Ti-41at.Al alloy2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Tsuciya
    • 雑誌名

      Electrochemistry Communicaitons

      巻: 26 ページ: 117-120

    • DOI

      10.1016/j.elecom.2012.08.025

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文]

    • 著者名/発表者名
      Daixhu Wei, Yuichiro Koizumi, Hiroaki Nishiyama, Akinori Yamanaka, Masahiko Yoshino, Shinpei Miyamoto, Kyosuke Yoshimi, Akihiko Chiba
    • 雑誌名

      Acta Mater

      巻: (掲載決定, in press)

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ナノ塑性加工による金属ナノラメラ多孔体製造の試みと電子ビーム積層造形の可能性2014

    • 著者名/発表者名
      小泉雄一郎
    • 学会等名
      応用物理学会ナノインプリント研究会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2014-02-14
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Laminated Porous Structure Produced by Selective Dissolution and Anodization2014

    • 著者名/発表者名
      魏代修, 小泉雄一郎, 千葉晶彦
    • 学会等名
      第12回日本金属学会東北支部研究発表大会
    • 発表場所
      名取
    • 年月日
      2014-01-13
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Ti-Al 合金の加工・熱処理による組織制御とナノラメラ多孔体創製2014

    • 著者名/発表者名
      小泉雄一郎
    • 学会等名
      日本金属学会第154回春期講演大会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Control of phase decomposition by nano-plastic deformation in Ti-39 at.%Al single crystal2014

    • 著者名/発表者名
      Daixiu Wei, Yuichiro Koizumi, Akihiko Chiba, Hiroaki Nishiyama, Akinori Yamanaka, Masahiko Yoshino
    • 学会等名
      日本金属学会第154回春期講演大会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Control of phase decomposition by nano-plastic deformation in Ti-39at.%Al single crystal2014

    • 著者名/発表者名
      Daixiu Wei, Yuichiro Koizumi, Akihiko Chiba
    • 学会等名
      2014 Annual Meeting of Excellent Graduate Schools for "Materials Integration Center" and "Materials Science Center"
    • 発表場所
      Akiu, Sendai
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Aspect-ratio Nano-gratings of Ti-Al Alloy Fabricated by a Combined Top-down Bottom-up Approach2014

    • 著者名/発表者名
      Yuichiro Koizumi, Daixiu Wei, Akihiko Chiba, Akinori Yamanaka, Masahiko Yoshino, Hiroaki Nishiyama
    • 学会等名
      2014 Functional Nanomaterials : Synthesis, Properties and Applications - Nanomanufacturing II & Fabrication and Fundamentals I, TMS 2014143rd Annual Meeting & Exhibition
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] ナノ塑性加工による金属ナノラメラ多孔体製造の試みと電子ビーム積層造形の可能性2014

    • 著者名/発表者名
      小泉雄一郎
    • 学会等名
      応用物理学会、ナノインプリント研究会
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Ti-Al合金の加工・熱処理による組織制御とナノラメラ多孔体創製2014

    • 著者名/発表者名
      小泉 雄一郎
    • 学会等名
      日本金属学会春期 (第154回) 講演大会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Control of phase decomposition by nano-plastic deformation in Ti-39 at.%Al single crysta2014

    • 著者名/発表者名
      Daixiu Wei, Yuichiro Koizumi, Akihiko Chiba, Hiroaki Nishiyama, Akinori Yamanaka, Masahiko Yoshino
    • 学会等名
      日本金属学会春期 (第154回) 講演大会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Laminated Porous Structure Produced by Selective Dissolution and Anodization2014

    • 著者名/発表者名
      魏 代修, 小泉 雄一郎, 千葉 晶彦
    • 学会等名
      第12 回日本金属学会東北支部研究発表大会
    • 発表場所
      名取
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Control of phase decomposition by nano-plastic deformation in Ti-39 at.%Al single crysta2014

    • 著者名/発表者名
      Daixiu Wei, Yuichiro Koizumi, Akihiko Chiba
    • 学会等名
      2014 Ann. Meeting of Excellent Graduate Schools for "Mater. Integration Center" and "Materials Science Center" in conjunction with Inter Workshop on Adv. Mater. Synthesis Process and Nanostructure
    • 発表場所
      Akiu, Sendai
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Nano-laminated Ti3Al Porous Structure Produced by Hot Forging and Selective Dissolution2014

    • 著者名/発表者名
      Daixiu Wei, Yuichiro Koizumi, Akihiko Chiba
    • 学会等名
      2014 Functional Nanomaterials: Synthesis, Properties and Applications ― Nanomanufacturing I, TMS 2014 143rd Annual Meeting & Exhibition, San Diego, USA, 2014.2.16-20.
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Nano-Plastic Deformation and Control of Phase Decomposition in Supersaturated α_2-Ti_3Al Single Crystal2013

    • 著者名/発表者名
      魏代修, 小泉雄一郎, 千葉晶彦, 宮本慎平, 吉見享祐, 西山宏昭, 山中晃徳, 吉野雅彦
    • 学会等名
      第125回東北大学金属材料研究所所内講演会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2013-05-22
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Refinement of Ti3Al Laminated Porous Structure by Hot Forging and Selective Dissolution2013

    • 著者名/発表者名
      魏代修, 小泉雄一郎, 千葉晶彦
    • 学会等名
      日本金属学会秋期(第153回)講演大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Nano-Plastic Deformation and Control of Phase Decomposition Phenomena in Lamellar Ti-Al alloy2013

    • 著者名/発表者名
      Daixiu Wei, Yuichiro Koizumi, Akihiko Chiba, Shinpei Miyamoto, Kyosuke Yoshimi, Hiroaki Nishiyama, Akinori Yamanaka, Masahiko Yoshino
    • 学会等名
      日本金属学会2013年度春期講演大会
    • 発表場所
      東京理科大学
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実施状況報告書
  • [学会発表] Control of γ-TiAl Lamellae Precipitation from Supersaturated α_2-Ti_3Al Single Crystal by Local Plastic Straining2013

    • 著者名/発表者名
      Yuichiro Koizumi, Toshihiro Yamazaki, Akihiko Chiba, Hiroaki Nishiyama
    • 学会等名
      TMS (Minerals, Metals and Materials Society) 2013 Annual Meeting & Exhibition
    • 発表場所
      San Antonio, TX, USA
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Refinement of Ti3Al Laminated Porous Structure by Hot Forging and Selective Dissolution2013

    • 著者名/発表者名
      魏 代修, 小泉 雄一郎, 千葉 晶彦
    • 学会等名
      日本金属学会秋期 (第153回) 講演大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 広義の積層欠陥に支配される結晶塑性と組織形成2012

    • 著者名/発表者名
      小泉雄一郎
    • 学会等名
      日本鉄鋼協会・東北支部若手研究者フォーラム『構造用金属材料の微細組織制御と特性』
    • 発表場所
      東北大学金属材料研究所
    • 年月日
      2012-12-17
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 広義の積層欠陥に支配される結晶塑性と組織形成2012

    • 著者名/発表者名
      小泉雄一郎
    • 学会等名
      日本金属学会秋期講演大会[日本金属学会村上奨励賞受賞講演]
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 広義の積層欠陥に支配される結晶塑性と組織形成2012

    • 著者名/発表者名
      小泉 雄一郎
    • 学会等名
      日本鉄鋼協会・東北支部 若手研究者フォーラム『構造用金属材料の微細組織制御と特性』
    • 発表場所
      東北大学金属材料研究所
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 広義の積層欠陥に支配される結晶塑性と組織形成2012

    • 著者名/発表者名
      小泉 雄一郎
    • 学会等名
      日本金属学会秋期講演大会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ontrol of γ-TiAl? Lamellae Precipitation from Supersaturated α2-Ti3Al Single Crystal by Local Plastic Straining2012

    • 著者名/発表者名
      Yuichiro Koizumi, Toshihiro Yamazaki, Akihiko Chiba, Hiroaki Nishiyama
    • 学会等名
      TMS (Minerals, Metals and Materials Society) 2013 Annual Meeting & Exhibition
    • 発表場所
      San Antonio, TX, USA
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [備考] ChibaGroupWiki

    • URL

      http://www-lab.imr.tohoku.ac.jp/~koizumi/pukiwiki/?ChibaGroupWiki

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2011-08-05   更新日: 2019-07-29  

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