| 研究課題/領域番号 |
23656471
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
材料加工・処理
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| 研究機関 | 立命館大学 |
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研究代表者 |
肥後 矢吉 立命館大学, 総合理工学研究機構, 教授 (30016802)
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| 研究分担者 |
垂水 竜一 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (30362643)
石山 千恵美 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教 (00311663)
鈴木 健一郎 立命館大学, 理工学部, 教授 (70388122)
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| 研究期間 (年度) |
2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2011年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
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| キーワード | マイクロ接着評価 / 接着動特性 / MEMS / マイクロ振動子 |
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| 研究概要 |
MEMSの分野で多く用いられる微細接着、接合の動的特性を数十～数百μmの超微細振動子を直接接合部に作り込み,レーザードプラ振動計で計測した。また、接合剤の物性値も計測・解析し比較した。その結果、粘性があり柔らかい接着剤では振動の減衰が大きく、共振周波数も低く変化する。硬い熱硬化性接着剤では振動子のみの共振周波数に近く減衰も少なく変化も小さい。以上の結果より微細接合特性を微細振動子で評価できることが明らかとなった。
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