研究課題
挑戦的萌芽研究
数Torrの低圧環境で超音速プラズマジェットを噴射させると、プラズマ内部の化学反応が凍結し、化学非平衡・温度非平衡状態の非常に活性な状態が実現できる。この高速プラズマ流を用いると、活性なプラズマ状態を下流域の基板まで維持することが可能である。これまで低圧環境下で作動ガスに窒素、窒素・水素混合ガス、アンモニアを用いた超音速プラズマジェットの診断測定、それを用いた窒化処理を行ってきた。低い基板温度、短い処理時間で良好な窒化特性が得られた。本研究では、この極度の熱力学的非平衡状態にある超音速プラズマジェットを溶射に用いた。窒化チタンの反応性溶射を行い膜質を調べ、本溶射方法の有用性を検証した。
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すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件) 学会発表 (13件) (うち招待講演 1件) 備考 (3件)
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