研究課題
若手研究(A)
金や銀などの局在表面プラズモン共鳴を示す金属ナノ構造が光をシングルナノメートルの微小な空間に局在化させることが可能な特徴を利用して、ポジ型フォトレジスト膜上にナノパターンを高精細に転写露光するナノ光リソグラフィー技術を構築した。その結果、未踏の10 nm-nodeの非接触光リソグラフィー技術の原理検証を達成することに成功した。
すべて 2014 2013 2012 2011 その他
すべて 雑誌論文 (71件) (うち査読あり 65件、 謝辞記載あり 4件) 学会発表 (65件) (うち招待講演 31件) 図書 (10件) 備考 (1件) 産業財産権 (6件) (うち外国 3件)
J. Phys. Chem. Lett
巻: 5 ページ: 25-29
化学工業
巻: 65 ページ: 21-25
J. Phys. Chem. Lett.
巻: 5 号: 1 ページ: 25-29
10.1021/jz402320p
J. Phys. Chem. C
巻: 117 ページ: 24733-24739
Light : Science & Applications
巻: 2
120005394558
NPG Asia Mater
巻: 5
Opt. Commun
巻: 294 ページ: 213-217
J. Photochem. Photobiol. C
巻: 15 ページ: 31-52
Phys. Chem. Chem. Phys
巻: 15 ページ: 4093-4099
巻: 117 ページ: 2449-2454
巻: 117 ページ: 2494-2499
Proc. SPIE
巻: 8613
Opt. Commun.
10.1016/j.optcom.2012.12.080
NPG Asia Mater.
巻: 5 号: 9 ページ: e61-e61
10.1038/am.2013.42
Light: Science & Applications
巻: 2 号: 12 ページ: e118-e118
10.1038/lsa.2013.74
巻: 117 号: 47 ページ: 24733-24739
10.1021/jp408472g
巻: 117 号: 6 ページ: 2449-2454
10.1021/jp305343g
Phys. Chem. Chem. Phys.
巻: 15 号: 12 ページ: 4093-4099
10.1039/c2cp43681g
Ann. der Physik
巻: 524 ページ: 733-740
Adv. Mater
巻: 24 ページ: 253-259
Chin. Opt. Lett
巻: 10 ページ: 92401-92401
Bull. Chem. Soc. Jpn
巻: 85 ページ: 843-853
10030946323
巻: 3 ページ: 1443-1447
巻: 3 ページ: 1248-1252
Langmuir
巻: 28 ページ: 9041-9046
Cytotechnology
巻: 64 ページ: 323-329
巻: 285 ページ: 2472-2477
Opt. Lett
巻: 37 ページ: 710-712
巻: 3 号: 10 ページ: 1248-1252
10.1021/jz3003316
巻: 3 号: 11 ページ: 1443-1447
10.1021/jz300370b
Bulletin of the Chemical Society of Japan
巻: 85 号: 8 ページ: 843-853
10.1246/bcsj.20120123
130004153099
Chin. Opt. Lett.
巻: 10 号: 9 ページ: 092401-92403
10.3788/col201210.092401
Adv. Mater.
巻: 24 号: 35 ページ: 253-259
10.1002/adma.201202194
巻: 28 号: 24 ページ: 9041-9046
10.1021/la300219w
巻: Vol.64 No.3 号: 3 ページ: 323-329
10.1007/s10616-012-9437-2
Opt.Comnun
巻: 285 号: 9 ページ: 2472-2477
10.1016/j.optcom.2012.01.032
Opt.Lett
Proc.SPIE
巻: 8243 ページ: 82430F-82430F
10.1117/12.913653
J. Appl. Phys
巻: 110
Electrophoresis
巻: 32 ページ: 3392-3398
Appl. Phys. Lett
巻: 99
Nanotechnology
巻: 22
Appl. Opt
巻: 50 ページ: 5600-5605
IEEE Photonic. Tech. L
巻: 23 ページ: 1216-1218
J. Photochem. Photobiol. A : Chem
巻: 221 ページ: 268-272
巻: 221 ページ: 164-168
Angew. Chem. Int. Ed
巻: 50 ページ: 1-6
J. Lumin
巻: 131 ページ: 1971-1974
Opt. Express
巻: 19 ページ: 10640-10646
巻: 19 ページ: 7726-7733
120003025355
Appl. Phys. A
巻: 104 ページ: 793-799
巻: 8243
SPIE News Room
10.1117/2.1201109.003842
巻: 221 ページ: 130-137
応用物理
巻: 80 ページ: 766-771
10029467992
J.Appl.Phys.
巻: 110 号: 10 ページ: 104306-104306
10.1063/1.3662114
巻: 32 号: 23 ページ: 3392-3398
10.1002/elps.201100362
巻: 99 号: 20
10.1063/1.3662930
巻: 22 号: 37 ページ: 375607-375607
10.1088/0957-4484/22/37/375607
Appl.Opt.
IEEE Photonics Technology Letters
巻: 23 号: 17 ページ: 1216-1218
10.1109/lpt.2011.2158640
J. Photochem. Photobiol. A: Chem.
巻: 221 号: 2-3 ページ: 268-272
10.1016/j.jphotochem.2011.03.012
巻: 221 号: 2-3 ページ: 164-168
10.1016/j.jphotochem.2011.02.023
Angew.Chem.Int.Ed.
巻: 50 号: 34 ページ: 7824-7828
10.1002/anie.201101699
Appl.Phys.Lett.
巻: 99 号: 1
10.1063/1.3606505
J. Lumin.
巻: 131 号: 9 ページ: 1971-1974
10.1016/j.jlumin.2011.04.001
Opt.Express
巻: 19 号: 11 ページ: 10640-10646
10.1364/oe.19.010640
Opt. Expres
巻: 19 号: 8 ページ: 7726-7733
10.1364/oe.19.007726
巻: 104 号: 3 ページ: 793-799
10.1007/s00339-011-6443-8
J. Photochem. Photbiol. A: Chem.
巻: 221 号: 2-3 ページ: 130-137
10.1016/j.jphotochem.2011.04.014
http://www.kueno.com/