ＭＥＭＳ光学系による異種画像同一光軸撮像システム

• 研究課題/領域番号: 23686039
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 知能機械学・機械システム
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 高畑 智之 東京大学, 情報理工学(系)研究科, 講師 (80529652)
• 研究期間 (年度): 2011-04-01 – 2015-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2014年度)
• 配分額: 21,580千円 (直接経費: 16,600千円、間接経費: 4,980千円); 2013年度: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円); 2012年度: 6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円); 2011年度: 8,970千円 (直接経費: 6,900千円、間接経費: 2,070千円)
• キーワード: 知能機械 / マイクロ・ナノデバイス / 同軸光学系 / シリコン三次元加工

研究成果の概要

コンパクトな同軸光学系で、遠赤外光と可視光の二種の画像を得た。そのためにシリコンとガラスから成るハイブリッドレンズを新たに考案した。遠赤外光と可視光はシリコンウエハによるビームスプリッタで分割し、それぞれに対応したイメージャで撮影した。光学系としての基本的な機能の確認として、ハイブリッドレンズの位置によって焦点調節ができることを示した。
また、MEMSシリコン三次元加工によるシリコンフレネルレンズを用いてハイブリッドレンズを試作した。このハイブリッドレンズで点光源の像をスクリーンに結像し、遠赤外光と可視光のそれぞれの像が同じ位置に結像されることを確認した。

研究成果

• [雑誌論文] 温度画像のための遠赤外線用フレネルレンズ (2013)
  • 著者名/発表者名: 高畑智之
  • 雑誌名: 電気学会論文誌E 巻: 133
  • NAID: 10031182716
  • 査読あり
• [学会発表] 温度画像と色画像の同時取得のためのシリコン‐ガラスハイブリッドレンズ (2013)
  • 著者名/発表者名: 高畑 智之
  • 学会等名: 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 仙台国際センター(宮城県仙台市）
  • 年月日: 2013-11-05 – 2013-11-07
• [学会発表] A silicon-glass hybrid lens for simultaneous color-and-thermal imaging (2013)
  • 著者名/発表者名: 高畑智之
  • 学会等名: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
  • 発表場所: バルセロナ（スペイン）
• [学会発表] 温度画像のための遠赤外線用フレネルレンズ (2012)
  • 著者名/発表者名: 高畑智之
  • 学会等名: 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 北九州市（福岡県）
• [備考] 研究のページ
  • URL: http://www.leopard.t.u-tokyo.ac.jp/research/takahata/takahata3.html