研究課題
若手研究(B)
植物性天然原料を用いた水現像可能な環境配慮型電子線微細加工用レジスト材料の研究を行った。植物性天然原料を用いた水現像可能な環境配慮型電子線微細加工用レジスト材料による最先端微細加工プロセスのエコグリーン化を推進するため、電子線照射による高感度化、並びに膜収縮性を改善できる植物性原料を用いて合成した。75 keVの電子線描画装置を用いて、植物性原料から合成された環境配慮型電子線微細加工用レジスト材料により100-200 nmのラインパターンの加工に7.0μC/cm2の電子線照射量で成功した。糖鎖化合物から合成された水現像可能な環境配慮型電子線微細加工用レジスト材料は、従来のアクリル系レジスト材料に比べ低い膜収縮性を有した。得られたレジスト材料と好適な条件を用いる技術は、環境対応型ナノデバイス製造に期待できる。
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すべて 雑誌論文 (11件) (うち査読あり 11件) 学会発表 (8件) (うち招待講演 2件) 備考 (2件)
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