| 研究課題/領域番号 |
23740408
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
鎌滝 晋礼 九州大学, 基幹教育院, 助教 (60582658)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2012年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2011年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
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| キーワード | プラズマ / 時空間構造 / ナノ粒子成長 / 相互作用 / 揺らぎ / 構造解析 / 二次電池 / 高速度カメラ / プラズマ応用 / 時空間解析 / ナノ界面 / ナノ粒子サイズの二次元分布 / ナノ粒子密度の二次元分布 / ナノ粒子のサイズ分布 |
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| 研究概要 |
今日のプラズマを用いたナノテクの画期的進展により、ULSI、高密度メモリーや太陽電池等のナノサイズデバイス創成が可能となっている。しかし、それらの製造過程で、プラズマの揺らぎとナノ界面の特性の揺らぎが重大な問題となっている。そこで本研究は、このプラズマ揺らぎとナノ界面特性揺らぎの関係を体系的に明らかにすることを目的とした。本研究実績の一つとして、ナノ粒子量の揺らぎを計測し、ナノ粒子量の時空間構造を明らかにし、プラズマ気相中の揺らぎとナノ粒子成長の関係を明らかにした。これらの研究成果は、プラズマ中の揺らぎをコントロールし、ナノ粒子成長の特徴を可視化し、産業界にインパクトを与えるものである。
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