| 研究課題/領域番号 |
23760022
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
応用物性・結晶工学
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| 研究機関 | 筑波大学 (2012)
独立行政法人物質・材料研究機構 (2011) |
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研究代表者 |
渡辺 健太郎 筑波大学, 数理物質系, 研究員 (40582078)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2012年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2011年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | 結晶評価 / ワイドギャップ半導体 / 低速電子線 / 走査電子顕微鏡 / カソードルミネッセンス |
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| 研究概要 |
酸化亜鉛や窒化ガリウムなどの電気絶縁性材料を電子顕微鏡で分析する際に、低速電子線は試料表面の帯電を抑制し、高空間分解能評価を実現しうる。本研究では、低速電子線に特化した走査電子顕微鏡カソードルミネッセンス装置を開発し、電気絶縁性材料の発光特性を導電膜被覆無しで高空間分解能評価した。また、本装置を応用して、単結晶酸化亜鉛ナノロッドの成長方向ドメインを可視化し、曲げ応力印加により酸化亜鉛バンドギャップの歪依存性を評価した。
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