| 研究課題/領域番号 |
23760037
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
盛谷 浩右 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (20391279)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2012年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2011年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
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| キーワード | ビーム応用 / 表面分析 / イオンビーム / クラスター / 質量分析 / 表面界面 / SIMS / クラスターイオンビーム |
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| 研究概要 |
本研究では、一原子当たりエネルギー(Eatom)を制御した気体クラスターイオンを試料に照射し放出される二次イオン種の変化を解析した。スペクトル変化を多変量解析の手法を用いて解析した結果、試料に含まれる成分をメタクリル酸由来、アクリル酸由来、シランカップリング材によるものと同定できた。また、前年度に立ち上げを開始したX線光電子分光装置(XPS)の立ち上げを完了し、XPSスペクトルの測定を行った。
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