2次元偏光解析による3 次元形状計測法の開発

• 研究課題/領域番号: 23760042
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 応用光学・量子光工学
• 研究機関: 山形大学 (2012); 東北大学 (2011)
• 研究代表者: 津留 俊英 山形大学, 地域教育文化学部, 准教授 (30306526)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2012年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2011年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
• キーワード: 偏光 / エリプソメトリー / 形状計測 / 偏光計測

研究概要

薄膜表面の屈折率や膜厚計測など様々な分野で利用されているエリプソメトリーを応用した新しい3 次元形状計測法を提案し、これを実現する計測装置を作製した。高精度化と高速化を目指し液晶可変リターダーを用いたイメージングエリプソメーターを開発した。また、全傾斜方位角を識別できる照明法を考案し、有効に機能することを確認した。開発した計測装置、照明装置、3 次元再構築ソフトウエアを用いた精密3 次元形状計測の各種応用が期待できる。

研究成果

• [雑誌論文] Tilt-ellipsometry of object surface by specular reflection for three-dimensional shape measurement (2013)
  • 著者名/発表者名: Toshihide Tsuru
  • 雑誌名: Optics Express 巻: 21 号: 5 ページ: 6625-6632
  • DOI: 10.1364/oe.21.006625
  • 査読あり
• [学会発表] 偏光計測による立体イメージング (2012)
  • 著者名/発表者名: 津留俊英
  • 学会等名: 2012年日本光学会年次学術講演会(Optics & Photonics Japan 2012)
  • 発表場所: 東京都タワーホール船堀東京都タワーホール船堀
  • 年月日: 2012-10-24
• [学会発表] 液晶可変リターダーを用いた傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測 (2012)
  • 著者名/発表者名: 津留俊英
  • 学会等名: 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛県愛媛大学・松山大学
  • 年月日: 2012-09-12
• [学会発表] 傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測 (2012)
  • 著者名/発表者名: 津留俊英
  • 学会等名: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東京都早稲田大学
  • 年月日: 2012-03-18
• [学会発表] 液晶可変リターダーを用いた傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測 (2012)
  • 著者名/発表者名: 津留俊英
  • 学会等名: 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学
• [学会発表] 偏光計測による立体イメージング (2012)
  • 著者名/発表者名: 津留俊英
  • 学会等名: 日本光学会年次学術講演会(Optics & Photonics Japan 2012)
  • 発表場所: タワーホール船堀
  • 招待講演
• [学会発表] 傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測 (2012)
  • 著者名/発表者名: 津留俊英
  • 学会等名: 2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] 偏光イメージングのものづくり現場への応用 (2011)
  • 著者名/発表者名: 山本治美、松川裕章、荒木秀和、津留俊英
  • 学会等名: 第7回偏光計測研究会
  • 発表場所: 東京都東京工芸大学
  • 年月日: 2011-11-11
• [学会発表] 偏光イメージングのものづくり現場への応用 (2011)
  • 著者名/発表者名: 山本治美、松川裕章、荒木秀和、津留俊英
  • 学会等名: 第7回偏光計測研究会
  • 発表場所: 東京