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カルコゲナイドガラスへのインプリント加工による高機能赤外デバイス製作に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 23760052
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 応用光学・量子光工学
研究機関滋賀県立大学

研究代表者

山田 逸成  滋賀県立大学, 工学部, 准教授 (40586210)

研究期間 (年度) 2011 – 2013
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2013年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2012年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2011年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
キーワードワイヤグリッド偏光子 / 赤外線 / カルコゲナイドガラス / インプリント加工 / 反射防止構造
研究概要

低毒性カルコゲナイドガラスへのインプリント加工、およびAlの蒸着により、赤外用偏光子の作製を行った。インプリント加工に用いるモールドは、容易に離型できるように周期500nmの先鋭状の格子を形成した。インプリント後、斜め蒸着法によりAl格子(130nm厚)を形成した。作製した偏光子は、5~9μmの波長域でTM偏光透過率60%、消光比20dB以上の性能を得ることができた。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実施状況報告書
  • 2011 実施状況報告書
  • 研究成果

    (41件)

すべて 2014 2013 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 (14件) (うち査読あり 7件) 学会発表 (22件) 図書 (2件) 備考 (1件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Incident angle and temperature dependence of WSi wire-grid polarizer2014

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, J. Nishii, and M. Saito
    • 雑誌名

      Infrared Physics & Technology

      巻: 63C

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Modeling and imprint fabrication of an infrared wire-grid polarizer with an antireflection grating structure2014

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, N. Yamashita, T. Einishi, M. Saito, K. Fukumi, and J. Nishii
    • 雑誌名

      Infrared Physics & Technology

      巻: 64C

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Deformable silicone grating fabricated with a photo-imprinted polymer mold2014

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, J. Nishii, and M. Saito
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 85 ページ: 13102-13102

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design and fabrication of an achromatic infrared wave plate with Sb-Ge-Sn-S system chalcogenide glass2013

    • 著者名/発表者名
      Yamada, N. Yamashita, T. Einishi, M. Saito, K. Fukumi, and J. Nishii
    • 雑誌名

      Appl. Opt.

      巻: vol. 52 ページ: 1377-1382

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Design and fabrication of an achromatic infrared wave plate with Sb–Ge–Sn–S system chalcogenide glass2013

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, N. Yamashita, T. Einishi, M. Saito, K. Fukumi, and J. Nishii
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 52 ページ: 1377-1382

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Infrared wire-grid polarizer with antireflection structure by imprinting on both sides2012

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, N. Yamashita, K. Tani, T. Einishi, Saito, K. Fukumi, and J. Nishii
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: vol. 5 ページ: 82502-82502

    • NAID

      40019394823

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of achromatic infrared wave plate by direct imprinting process on chalcogenide glass2012

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, N. Yamashita, K. Tani, T. Einishi, Saito, K. Fukumi, and J. Nishii
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: vol. 5 ページ: 72601-72601

    • NAID

      40019350649

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Infrared polarizer fabrication by imprinting on Sb-Ge-Sn-S chalcogenide Glass2012

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, N. Yamashita, K. Tani, T. Einishi, Saito, K. Fukumi, and J. Nishii
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: vol. 51 ページ: 12201-12201

    • NAID

      40019137844

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of achromatic infrared wave plate by direct imprinting process on chalcogenide glass2012

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, N. Yamashita, K. Tani, T. Einishi, M. Saito, K. Fukumi, and J. Nishii
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 5 ページ: 72601-72601

    • DOI

      10.1143/apex.2.085502

    • NAID

      40019350649

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of near- or mid-infrared wire-grid polarizers with WSi wires2012

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, K. Fukumi, J. Nishii, and M. Saito
    • 雑誌名

      Proc. of SPIE

      巻: 8428 ページ: 84281A-84281A

    • DOI

      10.1117/12.919758

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Infrared Polarizer Fabrication by Imprinting on Sb-Ge-Sn-S Chalcogenide Glass2012

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, N. Yamashita, K. Tani, T. Einishi, M. Saito, K. Fukumi, and J. Nishii
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51 号: 12R ページ: 12201-12201

    • DOI

      10.1143/jjap.50.121603

    • NAID

      40019137844

    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of a mid-IR wire-grid polarizer by direct imprinting on chalcogenide glass2011

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, N. Yamashita, K. Tani, T. Einishi, Saito, K. Fukumi, and J. Nishii
    • 雑誌名

      Opt. Lett.

      巻: vol. 36 ページ: 3882-3884

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Near-infrared polarizer with tungsten silicide wire grids2011

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, K. Fukumi, J. Nishii, and M. Saito
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: vol. 50 ページ: 12502-12502

    • NAID

      40017446824

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of a mid-IR wire-grid polarizer by direct imprinting on chalcogenide glass2011

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, N. Yamashita, K. Tani, T. Einishi, M. Saito, K. Fukumi, and J. Nishii
    • 雑誌名

      Opt. Lett.

      巻: 36 号: 17 ページ: 3882-3884

    • DOI

      10.1364/ol.35.002831

    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 干渉露光と陽極酸化による酸化チタン格子の形成と光学評価2013

    • 著者名/発表者名
      横山遼,山田逸成,柳沢淳一
    • 学会等名
      平成25年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学(講演予稿集p.44)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Sb-Ge-Sn-S系カルコゲナイドガラスのインプリント加工による赤外用波長板の作製2013

    • 著者名/発表者名
      石原吉朗,山田逸成,柳沢淳一,山下直人,谷邦彦,栄西俊彦,斉藤光徳,福味幸平,西井準治
    • 学会等名
      第54回ガラス及びフォトニクス材料討論会
    • 発表場所
      産業技術総合研究所関西センター(講演予稿集pp. 62-63)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] チタンの陽極酸化を利用した反射型偏光波長フィルタの作製と評価2013

    • 著者名/発表者名
      横山遼,山田逸成,柳沢淳一
    • 学会等名
      第22回日本光学会年次学術講演会
    • 発表場所
      奈良県新公会堂(講演予稿集14pP2)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of silicone grating using a photoimprinted polymer mold and period control by mechanical distortion2013

    • 著者名/発表者名
      T. Ishihara, I. Yamada, J. Yanagisawa, K. Koyama, T. Inoue, J. Nishii, and M. Saito
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] チタンの陽極酸化を利用した反射型偏光波長フィルタの作製2013

    • 著者名/発表者名
      横山遼,山田逸成,柳沢淳一
    • 学会等名
      第74回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学(講演予稿集03-017)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] サブ波長周期構造を利用した反射型波長板の作製と評価2013

    • 著者名/発表者名
      石原隆明,山田逸成,柳沢淳一
    • 学会等名
      第74回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学(講演予稿集03-035)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Direct imprinting on chalcogenide glass and fabrication of infrared wire-grid polarizer2013

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, N. Yamashita, T. Einishi, M. Saito, K. Fukumi, and J. Nishii
    • 学会等名
      SPIE Conference Integrated Photonics : Materials, Devices, and Applications II
    • 発表場所
      Grenoble, France
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 干渉露光と陽極酸化による酸化チタン格子の形成と光学評価2013

    • 著者名/発表者名
      横山遼,山田逸成,柳沢淳一
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Sb-Ge-Sn-S系カルコゲナイドガラスのインプリント加工による赤外用波長板の作製2013

    • 著者名/発表者名
      石原吉朗,山田逸成,柳沢淳一,山下直人,谷邦彦,栄西俊彦,斉藤光徳,福味幸平,西井準治
    • 学会等名
      ガラス及びフォトニクス材料討論会
    • 発表場所
      産業技術総合研究所 関西センター
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] チタンの陽極酸化を利用した反射型偏光波長フィルタの作製と評価2013

    • 著者名/発表者名
      横山遼,山田逸成,柳沢淳一
    • 学会等名
      日本光学会年次学術講演会
    • 発表場所
      奈良県新公会堂
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] チタンの陽極酸化を利用した反射型偏光波長フィルタの作製2013

    • 著者名/発表者名
      横山遼,山田逸成,柳沢淳一
    • 学会等名
      応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] サブ波長周期構造を利用した反射型波長板の作製と評価2013

    • 著者名/発表者名
      石原隆明,山田逸成,柳沢淳一
    • 学会等名
      応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of silicone grating using a photoimprinted polymer mold and period control by mechanical distortion2013

    • 著者名/発表者名
      T. Ishihara, I. Yamada, J. Yanagisawa, K. Koyama, T. Inoue, J. Nishii, and M. Saito
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Hilton Fukuoka Sea Hawk
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] サブ波長周期構造を利用した反射型波長板2012

    • 著者名/発表者名
      石原隆明,山田逸成,柳沢淳一
    • 学会等名
      第21回日本光学会年次学術講演会
    • 発表場所
      タワーホール船堀(講演予稿集23pP10)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] インプリント加工によるSb-Ge-Sn-S系カルコゲナイドガラスへのサブ波長周期構造の形成とワイヤグリッド偏光子の製作2012

    • 著者名/発表者名
      山田逸成,山下直人,谷邦彦,栄西俊彦,斉藤光徳,福味幸平,西井準治
    • 学会等名
      第53回ガラス及びフォトニクス材料討論会
    • 発表場所
      北海道大学(講演予稿集pp. 78-79)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] カルコゲナイドガラスへのインプリント加工による赤外用波長板の製作2012

    • 著者名/発表者名
      山田逸成,山下直人,谷邦彦,栄西俊彦,斉藤光徳,福味幸平,西井準治
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学(講演予稿集03-026)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of near- or mid-infrared wire-grid polarizers with WSi wires2012

    • 著者名/発表者名
      I. Yamada, K. Fukumi, J. Nishii, and M. Saito
    • 学会等名
      SPIE Conference Micro-Optics
    • 発表場所
      Brussels, Belgium
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実施状況報告書
  • [学会発表] サブ波長周期構造を利用した反射型波長板2012

    • 著者名/発表者名
      石原隆明,山田逸成,柳沢淳一
    • 学会等名
      第21回日本光学会年次学術講演会
    • 発表場所
      タワーホール船堀
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] インプリント加工によるSb-Ge-Sn-S系カルコゲナイドガラスへのサブ波長周期構造の形成とワイヤグリッド偏光子の製作2012

    • 著者名/発表者名
      山田逸成,山下直人,栄西俊彦,斉藤光徳,福味幸平,西井準治
    • 学会等名
      第53回ガラス及びフォトニクス材料討論会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] カルコゲナイドガラスへのインプリント加工による赤外用波長板の製作2012

    • 著者名/発表者名
      山田逸成,山下直人,谷邦彦,栄西俊彦,斉藤光徳,福味幸平,西井準治
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会 13p-F3-4
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] カルコゲナイドガラスへのインプリント加工による赤外用ワイヤグリッド偏光子の製作2011

    • 著者名/発表者名
      山田逸成,山下直人,谷邦彦,栄西俊彦,斉藤光徳,福味幸平,西井準治
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(講演予稿集03-020)
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] カルコゲナイドガラスへのインプリント加工による赤外用ワイヤグリッド偏光子の製作2011

    • 著者名/発表者名
      山田逸成,山下直人,谷邦彦,栄西俊彦,斉藤光徳,福味幸平,西井準治
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [図書] プラズモンナノ材料開発の最前線と応用 第2章3節干渉露光法2013

    • 著者名/発表者名
      山田逸成,西井準治
    • 出版者
      CMC出版
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [図書] 「プラズモンナノ材料開発の最前線と応用」第2章3節 干渉露光法2013

    • 著者名/発表者名
      山田逸成、西井準治(他45名)
    • 出版者
      CMC出版
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [備考] 研究者詳細

    • URL

      http://db.spins.usp.ac.jp/view?l=ja&u=100000124&i=j35&sm=name&sl=ja&sp=1

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [産業財産権] ワイヤーグリッド偏光子およびその製造方法2011

    • 発明者名
      山下直人,谷邦彦,山田逸成,福味幸平
    • 権利者名
      五鈴精工硝子株式会社、独立行政法人産業技術総合研究所
    • 産業財産権番号
      2011-158045
    • 出願年月日
      2011-07-19
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [産業財産権] ワイヤーグリッド偏光子およびその製造方法2011

    • 発明者名
      山下直人、谷邦彦、山田逸成、福味幸平
    • 権利者名
      五鈴精工硝子株式会社、独立行政法人産業技術総合研究所
    • 産業財産権番号
      2011-158045
    • 出願年月日
      2011
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2011-08-05   更新日: 2019-07-29  

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