| 研究課題/領域番号 |
23760112
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
臼杵 深 静岡大学, 若手グローバル研究リーダー育成拠点, 特任助教 (60508191)
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| 連携研究者 |
三浦 憲二郎 静岡大学, 創造科学技術大学院, 教授 (50254066)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2012年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2011年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | アクティブ光制御 / 変調照明 / 超解像 / 三次元顕微法 / デコンボリューション / 多光束干渉 / マルチビーム / インプロセス検査 / 三次元顕微計測 / インプロセス欠陥検査 / デジタルリフォーカス / サブピクセル / 三次元定在波照明 / 複数画像再構成 |
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| 研究概要 |
複数レーザの立体的干渉を利用した三次元変調照明生成・制御手法を提案した.レーザの空間的配置,入射角度,偏光条件を最適化することで,高い空間周波数を有する三次元照明の生成とナノオーダーの空間位置制御が可能となる.四光束干渉実験装置による検証の結果,理論解析に即した変調照明生成を確認した.得られた信号情報と与えた照明情報から観察試料を再構成するための処理手法を開発した.複数三次元画像と与えた照明情報から,三次元超解像が実現することを確認した.
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