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ニオブ酸リチウムのマイクロエンドミル溝加工による新規 SAW デバイスの作成

研究課題

研究課題/領域番号 23760118
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

静 弘生  兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (80552570)

連携研究者 奥田 孝一  兵庫県立大学, 工学(系)・研究科(研究院), 教授 (50124061)
布引 雅之  兵庫県立大学, 工学(系)・研究科(研究院), 教授 (50244687)
内海 裕一  兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (80326298)
才木 常正  兵庫県立工業技術センター, 情報技術支援部, 主任研究員 (80470227)
研究期間 (年度) 2011 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2012年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2011年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
キーワードニオブ酸リチウム / 延性モード切削 / μ-TAS / Lithium Niobate / ダイヤモンド切削 / ダイヤモンドエンドミル / シェーパ加工 / 弾性表面波 / LiNbO3 / ダイヤモン切削
研究概要

本研究課題の目的は,ニオブ酸リチウムを SAW デバイスとして用いた新規μ-TAS の開発である.このことから,ニオブ酸リチウムの切削特性の解明と SAW デバイスの作成を行った.その結果,異方性の強い脆性材料であるニオブ酸リチウムが延性モード切削可能であることを明らかにするとともに, SAW デバイスとして用いるための流路の加工に成功した.また,得られた条件を元にデバイスを作成して実験を行い,本デバイスによる粉体移送実験に成功した.

報告書

(3件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実施状況報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2013 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (4件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] 超精密・微細切削加工システムと加工特性2013

    • 著者名/発表者名
      奥田孝一,静 弘生
    • 雑誌名

      計測と制御

      巻: Vol.52, No.1 ページ: 11-16

    • NAID

      10031140784

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
  • [雑誌論文] ニオブ酸リチウムの延性モード切削に関する研究2012

    • 著者名/発表者名
      静 弘生,奥田孝一,布引雅之,李偉,稲岡孝信,才木常正,内海裕一
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: Vol.56, No.2 ページ: 118-123

    • NAID

      10030194713

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Study on the ductile mode cutting of LiNbO_3 wafer for fabrication of SAW device2012

    • 著者名/発表者名
      Hiroo Shizuka, Koichi Okuda, Masayuki Nunobiki, Wei Li
    • 雑誌名

      International Journal of Abrasive Technology

      巻: Vol.55, No.12 ページ: 191-203

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Reflected Surface Acoustic Wave Actuator Using Micro Groove2011

    • 著者名/発表者名
      T. Saiki, H. Tomita, H. Shizuka, K. Okuda, K. Maenaka, Y. Utsumi
    • 雑誌名

      Proc. of 37th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2011)

      ページ: 490-490

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Study on the ductile mode cutting of LiNbO3 wafer for fabrication of SAW device2011

    • 著者名/発表者名
      Hiroo Shizuka, Koichi Okuda, Masayuki Nunobiki, Wei Li
    • 雑誌名

      International Journal of Abrasive Technology

      巻: Vol.55, No.12 ページ: 191-203

    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] マイクロエンドミルを用いたニオブ酸リチウムの微細溝加工に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      静弘生
    • 学会等名
      精密工学会春期大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2013-03-13
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Proposal of Particle Size Sorting Method by Surface Acoustic Wave2012

    • 著者名/発表者名
      Yasuto Arisue
    • 学会等名
      25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012)
    • 発表場所
      神戸メリケンパークオリエンタルホテル
    • 年月日
      2012-10-11
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Direction Control of Powder Transport on Solid Substrate by Drive Frequency of Surface Acoustic Wave Actuator2012

    • 著者名/発表者名
      T. Saiki
    • 学会等名
      International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2012)
    • 発表場所
      トゥールーズ・フランス
    • 年月日
      2012-09-17
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] マイクロエンドミルを用いたニオブ酸リチウムの微細溝加工に関する研究

    • 著者名/発表者名
      静弘生
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [産業財産権] 表面弾性波発生装置2012

    • 発明者名
      内海裕一,才木常正,静 弘生,奥田孝一
    • 権利者名
      兵庫県
    • 産業財産権番号
      2011-203952
    • 出願年月日
      2012-09-19
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [産業財産権] 表面弾性波発生装置2011

    • 発明者名
      内海裕一,才木常正,静弘生,奥田孝一
    • 権利者名
      兵庫県
    • 出願年月日
      2011
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書

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公開日: 2011-08-05   更新日: 2019-07-29  

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