熱酸化による光ナノインプリント用超微細透明金型の創成

• 研究課題/領域番号: 23760119
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 名古屋大学 (2012); 兵庫県立大学 (2011)
• 研究代表者: 野田 大二 名古屋大学, 工学研究科, 招へい教員 (00378267)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2012年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2011年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
• キーワード: ナノインプリント / 透明金型 / 熱酸化 / 光インプリント / 超微細構造 / 高アスペクト比加工 / マイクロマシン / MEMS

研究概要

本研究は,光ナノインプリント技術に適用した超微細透明金型を作製するものである.狭周期性と光透過性を両立させる手法として,シリコン微細加工技術により作製した微細金型パターン全体を簡便な熱酸化により二酸化ケイ素にすることで透明にすることを提案し,微細構造体が完全に酸化出来ることを確認した.また,作製した金型を用いたインプリントでは良好に転写可能なことを示し,位相イメージングの高度化に大きな期待がもてる要素技術を得た.

研究成果

• [雑誌論文] Fabrication of Si Mold Using ICP Etching for X-ray Diffraction Grating (2012)
  • 著者名/発表者名: Daiji Noda, Atsushi Tokuoka and Tadashi Hattori
  • 雑誌名: Key Engineering Materials 巻: Vols. 523-524 ページ: 587-591
  • DOI: 10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.587
  • 査読あり
• [学会発表] Fabrication of Si Mold Using ICP Etching for X-ray Diffraction Grating (2012)
  • 著者名/発表者名: Daiji Noda, Atsushi Tokuoka and Tadashi Hattori
  • 学会等名: 14thInternational conference on Precision Engineering (ICPE 2012)
  • 発表場所: Awaji Yumebutai International Conference Center
  • 年月日: 2012-11-08
• [学会発表] ICP エッチングによる狭周期シリコン金型の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 野田大二,徳岡篤,服部正
  • 学会等名: 日本機械学会年次大会
  • 発表場所: 金沢大学
  • 年月日: 2012-09-12
• [学会発表] X 線タルボ干渉計用大面積 X 線格子の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 野田大二,徳岡篤,香取めぐみ,南山康人,山下健治,西田諭史,服部正
  • 学会等名: 先端技術セミナー2012
  • 発表場所: イーグレ姫路あいめっせホール
  • 年月日: 2012-04-27
• [学会発表] Si ドライエッチングによる X 線格子の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 野田大二,徳岡篤,服部正
  • 学会等名: 先端技術セミナー2012
  • 発表場所: イーグレ姫路あいめっせホール
  • 年月日: 2012-04-27
• [学会発表] ICP エッチングによる狭周期格子パターンの作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 野田大二,徳岡篤,服部正
  • 学会等名: 日本機械学会第12回機素潤滑設計部門講演会
  • 発表場所: 愛媛県県民文化会館
  • 年月日: 2012-04-24
• [学会発表] Siドライエッチングを用いたタルボ干渉計用回折格子の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 徳岡篤,矢代航,野田大二,服部正
  • 学会等名: 平成 24 年電気学会全国大会
  • 発表場所: 広島工業大学
  • 年月日: 2012-03-21
• [学会発表] Fabrication of High Aspect Ratio X-ray Grating Using Silicon Dry Etching Method (2012)
  • 著者名/発表者名: Daiji Noda, Atsushi Tokuoka and Tadashi Hattori
  • 学会等名: International Workshop on X-ray and Neutron Phase Imaging with Gratings (XNPIG)
  • 発表場所: National Museum of Emerging Science and Innovation
  • 年月日: 2012-03-05
• [学会発表] Fabrication of Si Mold Using ICP Etching for X-ray Diffraction Grating (2012)
  • 著者名/発表者名: Daiji Noda
  • 学会等名: 14th International conference on Precision Engineering
  • 発表場所: Awaji Yumebutai International Conference Center
• [学会発表] ICPエッチングによる狭周期格子パターンの作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 野田大二
  • 学会等名: 日本機械学会 第12回機素潤滑設計部門講演会
  • 発表場所: 愛媛県県民文化会館
• [学会発表] X線タルボ干渉計用大面積X線格子の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 野田大二
  • 学会等名: 先端技術セミナー2012
  • 発表場所: イーグレ姫路あいめっせホール
• [学会発表] SiドライエッチングによるX線格子の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 野田大二
  • 学会等名: 先端技術セミナー2012
  • 発表場所: イーグレ姫路あいめっせホール
• [学会発表] ICPエッチングによる狭周期シリコン金型の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 野田大二
  • 学会等名: 日本機械学会年次大会
  • 発表場所: 金沢大学
• [学会発表] Fabrication of High Aspect Ratio X-ray Grating Using Silicon Dry Etching Method (2012)
  • 著者名/発表者名: Daiji Noda, Atsushi Tokuoka and Tadashi Hattori
  • 学会等名: International Workshop on X-ray and Neutron Phase Imaging with Gratings
  • 発表場所: 日本科学未来館（東京都）
• [学会発表] Siドライエッチングを用いたタルボ干渉計用回折格子の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 徳岡篤，矢代航，野田大二，服部正
  • 学会等名: 平成24年電気学会全国大会
  • 発表場所: 広島工業大学（広島県）
• [学会発表] 熱酸化による透明ナノインプリント用金型の作製 (2011)
  • 著者名/発表者名: 野田大二,徳岡篤,服部正
  • 学会等名: 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: タワーホール船掘
  • 年月日: 2011-09-27
• [学会発表] Si 構造体への直接めっきによる高アスペクト比金属構造体の作製 (2011)
  • 著者名/発表者名: 徳岡篤,野田大二,服部正
  • 学会等名: 精密工学会 2011 年度関西地方定期学術講演会
  • 発表場所: 兵庫県立大学
  • 年月日: 2011-06-30
• [学会発表] Fabrication of high aspect ratio Au microstructure using direct electroplating on Si microstructure (2011)
  • 著者名/発表者名: Atsushi Tokuoka, Daiji Noda and Tadashi Hattori
  • 学会等名: 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology
  • 発表場所: Ambassador Hotel Hsinchu, Taiwan
  • 年月日: 2011-06-14
• [学会発表] Fabrication of high aspect ratio Au microstructure using direct electroplating on Si microstructure (2011)
  • 著者名/発表者名: Atsushi Tokuoka, Daiji Noda and Tadashi Hattori
  • 学会等名: 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology
  • 発表場所: Ambassador Hotel Hsinchu, Hsinchu, Taiwan
• [学会発表] Si構造体への直接めっきによる高アスペクト比金属構造体の作製 (2011)
  • 著者名/発表者名: 徳岡篤，野田大二，服部正
  • 学会等名: 精密工学会2011年度関西地方定期学術講演会
  • 発表場所: 兵庫県立大学（兵庫県）
• [学会発表] 熱酸化による透明ナノインプリント用金型の作製 (2011)
  • 著者名/発表者名: 徳岡篤，野田大二，服部正
  • 学会等名: 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: タワーホール船掘（東京都）