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MEMS技術を用いたECF可変焦点マイクロレンズ

研究課題

研究課題/領域番号 23760133
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
研究機関東京工業大学

研究代表者

金 俊完  東京工業大学, 精密工学研究所, 助教 (40401517)

研究期間 (年度) 2011 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2011年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
キーワードMEMS / 電界共役流体(ECF) / マイクロポンプ / 可変焦点マイクロレンズ / 電界共役流体 / MEMS技術 / 可変焦点レンズ / マイクロ液圧源 / マイクロマシン / ECF
研究概要

光学撮影系を有する電子機器のための薄くてマイクロな可変焦点レンズシステムとしてECFマイクロポンプを組み込んだ可変焦点形液体レンズの開発を行なった.これは薄膜を用いた液体レンズをECFジェットの発生圧力により駆動するものである.ECFマイクロポンプの高性能化のために,三角柱-スリット形電極対を効率よく製作できるMEMSプロセスを提案し,ECF電極対の集積化を行った.ラージモデルを製作し,印加電圧により焦点距離を変更できることを確認した.また,流路などをMEMS技術により製作することでECFマイクロポンプを組み込んだ小形な可変焦点形液体レンズを実現し,この可能性を示した.

報告書

(3件)
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実施状況報告書
  • 研究成果

    (43件)

すべて 2012 2011

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (38件)

  • [雑誌論文] Concept of a Focus-Tunable ECF Microlens and Fabrication of a Large Model Prototype2012

    • 著者名/発表者名
      Joon-Wan Kim, Takashi Yoshimoto, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: Vol.6 ページ: 476-481

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Tube-type micropump by using electro-conjugated fluid (ECF)2012

    • 著者名/発表者名
      J.-w. KIM, T. SUZUKI, S. YOKOTA, K.EDAMURA
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A: Physical

      巻: Vol.174 ページ: 155-161

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Concept of a Focus-Tunable ECF Microlens and Fabrication of a Large Model Prototype2012

    • 著者名/発表者名
      Joon-wan Kim,Takashi Yoshimoto,Shinichi Yokota,Kazuya Edamura
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: Vol. 6, No. 4 ページ: 476-481

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Proposition of a Focus-Tunable ECF Microlens by MEMS technology2012

    • 著者名/発表者名
      Joon-wan Kim, Takashi Yoshimoto, Shinichi Yokota, and Kazuya Edamura
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: Vol.6, No.4

    • NAID

      40022367325

    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Tube-type micropump by using electro-conjugated fluid (ECF)2012

    • 著者名/発表者名
      Joon-wan Kim, Toshiya Suzuki, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators: A

      巻: Vol.174

    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ECFジェット駆動バルーン形マイクロアクチュエータ2012

    • 著者名/発表者名
      山下悟,金俊完,横田眞一,枝村一弥
    • 学会等名
      山梨講演会
    • 発表場所
      山梨大学(山梨県)
    • 年月日
      2012-10-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] New Design of an Electrode for ECF Jet Micro Cylinder2012

    • 著者名/発表者名
      Sang In Eom, Shinichi Yokota, Joon-wan Kim, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      ICMT2012
    • 発表場所
      Tianjin(China)
    • 年月日
      2012-10-17
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] ECF Micropump by the 3D Integration of MEMS-fabricated Triangular Prism and Slit (TPS) Electrode Pairs2012

    • 著者名/発表者名
      Yoshiho Yamada, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      ICMT2012
    • 発表場所
      Tianjin(China)
    • 年月日
      2012-10-17
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Study on Closed Loop ECF Micro Devices for Cooling a Micro Chip2012

    • 著者名/発表者名
      Joon-wan Kim, Yuji Miyagawa, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      ICMT2012
    • 発表場所
      Tianjin(China)
    • 年月日
      2012-10-17
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 三角柱-スリット形電極を用いたECFマイクロポンプの立体集積化2012

    • 著者名/発表者名
      金俊完,山田嘉穂,横田眞一,枝村一弥
    • 学会等名
      Robomec2012
    • 発表場所
      浜松(静岡県)
    • 年月日
      2012-05-29
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] MEMS技術を用いたECF三角柱-スリット形電極対の性能評価2012

    • 著者名/発表者名
      金俊完,王海波,横田眞一,枝村一弥
    • 学会等名
      機素潤滑設計部門講演会
    • 発表場所
      愛媛県県民文化会館(愛媛県)
    • 年月日
      2012-04-24
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 三角柱-スリット形電極対の三次元集積化による ECFマイクロポンプ2012

    • 著者名/発表者名
      金俊完,山田嘉穂,横田眞一,枝村一弥
    • 学会等名
      機素潤滑設計部門講演会
    • 発表場所
      愛媛県県民文化会館(愛媛県)
    • 年月日
      2012-04-24
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] New Design of an Electrode for ECF Jet Micro Cylinder2012

    • 著者名/発表者名
      Sang In Eom,Shinichi Yokota,Joon-wan Kim,Kazuya Edamura
    • 学会等名
      16th International Conference on Mechatronics Technology
    • 発表場所
      Tianjin
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] ECF Micropump by the 3D Integration of MEMS-fabricated Triangular Prism and Slit (TPS) Electrode Pairs2012

    • 著者名/発表者名
      Yoshiho Yamada,Joon-wan Kim,Shinichi Yokota,Kazuya Edamura
    • 学会等名
      16th International Conference on Mechatronics Technology
    • 発表場所
      Tianjin
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Study on Closed Loop ECF Micro Devices for Cooling a Micro Chip2012

    • 著者名/発表者名
      Joon-wan Kim,Yuji Miyagawa,Shinichi Yokota,Kazuya Edamura
    • 学会等名
      16th International Conference on Mechatronics Technology
    • 発表場所
      Tianjin
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] ECFジェット駆動バルーン形マイクロアクチュエータ2012

    • 著者名/発表者名
      山下悟,金俊完,横田眞一,枝村一弥
    • 学会等名
      山梨講演会
    • 発表場所
      山梨県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] MEMS 技術によるECF マイクロレートジャイロの開発と性能評価2012

    • 著者名/発表者名
      今村恒彦,グェン ヴィンソン タン,金俊完,横田眞一,枝村一弥
    • 学会等名
      日本機械学会 2012年度年次大会
    • 発表場所
      石川県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] マイクロチップ冷却用環状ECFマイクロデバイスの特性評価2012

    • 著者名/発表者名
      金俊完,宮川裕史,横田眞一,枝村一弥
    • 学会等名
      日本機械学会 2012年度年次大会
    • 発表場所
      石川県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 三角柱-スリット形電極を用いたECF マイクロポンプの立体集積化2012

    • 著者名/発表者名
      金俊完,山田嘉穂,横田眞一,枝村一弥
    • 学会等名
      ロボティクス・メカトロニクス講演会2012
    • 発表場所
      静岡県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] ECFジェット駆動マイクロ液圧用シリンダ2012

    • 著者名/発表者名
      嚴祥仁,増田弘樹,横田眞一,吉田和弘,枝村一弥
    • 学会等名
      ロボティクス・メカトロニクス講演会2012
    • 発表場所
      静岡県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] ECF マイクロシリンダ2012

    • 著者名/発表者名
      嚴祥仁,増田弘樹,横田眞一,吉田和弘,枝村一弥
    • 学会等名
      第24回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
    • 発表場所
      富山県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] MEMS技術を用いたECF三角柱-スリット形電極対の性能評価2012

    • 著者名/発表者名
      金俊完,王海波,横田眞一,枝村一弥
    • 学会等名
      第12回機素潤滑設計部門講演会
    • 発表場所
      愛媛県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 三角柱-スリット形電極対の三次元集積化によるECFマイクロポンプ2012

    • 著者名/発表者名
      金俊完,山田嘉穂,横田眞一,枝村一弥
    • 学会等名
      第12回機素潤滑設計部門講演会
    • 発表場所
      愛媛県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] HighPerformance ECF (Electro-Conjugate Fluid) Micropump by the In- plane Integration of MEMS-fabricated electrodes2011

    • 著者名/発表者名
      Joon-wan Kim, Vinh Xuan Thanh Nguyen, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      ICMT2011
    • 発表場所
      Melbourne(Australia)
    • 年月日
      2011-12-01
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Parameter Optimization on Power Density of MEMS-based Micro Triangular prism slit Electrode Array as an ECF-jet Generator2011

    • 著者名/発表者名
      Haibo Wang, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      ICMT2011
    • 発表場所
      Melbourne(Australia)
    • 年月日
      2011-11-30
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Performance Evaluation of a Triangular-Prism-Slit Electrode Pair As an Electro-Conjugate Fluid Jet Generator2011

    • 著者名/発表者名
      Haibo Wang, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      Bath/ASME Symposium on Fluid Power and Motion Control
    • 発表場所
      Arlington,VA(USA)
    • 年月日
      2011-11-01
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Needle-ring electrode pair as an ECF-jet generator by using MEMS technology2011

    • 著者名/発表者名
      Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      JFPS international Symposium
    • 発表場所
      OKINAWA(Japan)
    • 年月日
      2011-10-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Parameter optimization of MEMS-based micro triangular-prism-slit electrode pair as an electro-conjugate fluid jet generator2011

    • 著者名/発表者名
      Haibo Wang, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      JFPS international Symposium
    • 発表場所
      OKINAWA(Japan)
    • 年月日
      2011-10-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] A flexible electro-conjugate fluid micropump with 3D TPS electrode pair2011

    • 著者名/発表者名
      Haibo Wang, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      FPM2011
    • 発表場所
      Beijing(China)
    • 年月日
      2011-08-19
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Focus-tunable ECF microlens by MEMS technology2011

    • 著者名/発表者名
      Joon-wan Kim, T. Yoshimoto, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      FPM2011
    • 発表場所
      Beijing(China)
    • 年月日
      2011-08-18
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 三角柱-スリット形電極の直列・並列化によるECFマイクロポンプの性能評価2011

    • 著者名/発表者名
      グェン ヴィンソンタン,金俊完,横田眞一,枝村一弥
    • 学会等名
      Robomec2011
    • 発表場所
      岡山コンベンションセンター(岡山県)
    • 年月日
      2011-05-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] High Performance ECF (Electro-Conjugate Fluid) Micropump by the In- plane Integration of MEMS-fabricated electrodes2011

    • 著者名/発表者名
      Joon-wan Kim, Vinh Xuan Thanh Nguyen, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      15th International Conference on Mechatronics Technology (ICMT2011)
    • 発表場所
      Novotel Melbourne on Collins, Melbourne
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] Performance Evaluation of a Triangular-Prism-Slit Electrode Pair As an Electro-Conjugate Fluid Jet Generator2011

    • 著者名/発表者名
      Haibo Wang, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      2011 ASME Dynamic Systems and Control Conference, and Bath/ASME Symposium on Fluid Power and Motion Control
    • 発表場所
      The Westin Arlington Gateway, Arilington, VA
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] Parameter Optimization on Power Density of MEMS-based Micro Triangular-prism-slit Electrode Array as an ECF-jet Generator2011

    • 著者名/発表者名
      Haibo Wang, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      15th International Conference on Mechatronics Technology (ICMT2011)
    • 発表場所
      Novotel Melbourne on Collins, Melbourne
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] Needle-ring electrode pair as an ECF-jet generator by using MEMS technology2011

    • 著者名/発表者名
      Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      8th JFPS international Symposium on Fluid Power
    • 発表場所
      Okinawa Convention Center, Okinawa
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] Parameter optimization of MEMS-based micro triangular-prism-slit electrode pair as an electro-conjugate fluid jet generator2011

    • 著者名/発表者名
      Haibo Wang, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      8th JFPS international Symposium on Fluid Power
    • 発表場所
      Okinawa Convention Center, Okinawa
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] A flexible electro-conjugate fluid micropump with three-dimensional triangular-prism-slit electrode pair2011

    • 著者名/発表者名
      Haibo Wang, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      2011 International Conference on Fluid Power and Mechatronics
    • 発表場所
      Fragrant Hill Hotel, Beijing
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] Focus-tunable ECF microlens by MEMS technology2011

    • 著者名/発表者名
      Joon-wan Kim, Takashi Yoshimoto, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      2011 International Conference on Fluid Power and Mechatronics
    • 発表場所
      Fragrant Hill Hotel, Beijing
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] 三角柱-スリット形電極の直列・並列化によるECF マイクロポンプの性能評価2011

    • 著者名/発表者名
      グェン ヴィンソンタン, 金俊完, 横田眞一, 枝村一弥
    • 学会等名
      日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス講演会2011
    • 発表場所
      岡山コンベンションセンター,岡山
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] MEMS 電極の平面集積化によるECF マイクロポンプの性能評価2011

    • 著者名/発表者名
      グェン ヴィンソンタン, 金俊完, 横田眞一, 枝村一弥
    • 学会等名
      平成23年春季フルードパワーシステム講演会
    • 発表場所
      機械振興会館,東京
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] A flexible electro-conjugate fluid (ECF) micropump with three-dimensional triangular-prism-slit (TPS) electrode array2011

    • 著者名/発表者名
      Haibo Wang, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      第23回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
    • 発表場所
      愛知県産業労働センター,名古屋
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] 三角柱-スリット形電極対を用いた両方向ECFポンプ2011

    • 著者名/発表者名
      金俊完, 横田眞一, 枝村一弥
    • 学会等名
      第23回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
    • 発表場所
      愛知県産業労働センター,名古屋
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] ECF-jet Micro-generator with multiple needle-hole electrode pairs2011

    • 著者名/発表者名
      Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • 学会等名
      The 4th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology
    • 発表場所
      Hotel TAKESHIMA, Gamagori, Aichi
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書

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公開日: 2011-08-05   更新日: 2019-07-29  

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