| 研究課題/領域番号 |
23760141
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター |
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研究代表者 |
川口 雅弘 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター, 高度S, 副主任研究員 (40463054)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2012年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2011年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | DLC / PBII&D / tribology / hydrogen contents / UBMS |
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| 研究概要 |
AIP法で成膜した水素フリーDLC膜に対して、PBII&D法を用いて水素イオン注入を行い、摩擦摩耗特性におよぼす水素含有量の影響について検討した。TEM-EELSなどよりsp^3/sp^2比について検討した結果、水素注入量に伴い水素含有DLCに近づく傾向が現れたが、同程度の水素含有DLC膜までは至らないことがわかった。摩擦摩耗試験結果より、摩擦係数、比摩耗量ともに水素注入量に伴い増加する傾向が現れた。水素フリーDLCは水素イオンを注入しても初期のsp^3構造が維持されていることを見出した。
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