| 研究課題/領域番号 |
23760145
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
流体工学
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
久保田 雅則 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (80447424)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2012年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2011年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | 熱伝導圧力センサ / 極微細高アスペクト比トレンチ / 集積化ガスシステム / 超臨界流体製膜 / 集積化MEMS / ステルスダイシング / MEMSプローブ / 熱マイクロフォン / ピラニーゲージ / 高アスペクト比トレンチ / MEMS |
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| 研究概要 |
大気中の有害ガスの分析などに用いる、シリコンチップ上にガスポンプ・圧力計・ガスセンサ・制御LSIを纏めた「集積化ガスシステム」のための要素技術の研究を行った。小さなシリコンチップ上で気体分子を制御・測定するためには、幅100nm以下・深さ数ミクロンの極めて細い溝（トレンチ）構造が重要であり、従来よりも細いトレンチを形成する「シリコン深堀りエッチングと超臨界流体製膜を用いた狭窄法」を開発した。その手法を用いて「熱伝導圧力センサー」を開発した。
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