| 研究課題/領域番号 |
23760366
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 新潟大学 |
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研究代表者 |
崔 森悦 新潟大学, 自然科学系, 助教 (60568418)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2013年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2012年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2011年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
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| キーワード | 形状計測 / 光周波数コム / 光空間変調 / 干渉計測 / 光コヒーレンストモグラフィ / 光計測 / 多波長走査光源 / 空間光変調器 / 位相変調 / 光周波数制御 / 光空間周波数 / 空間光変調 / 多波長干渉計 |
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| 研究概要 |
光干渉計は、光波の干渉を利用して測定物体の様々なパラメータ（長さ、形状、断層、膜厚、歪み、分光特性等）を測ることができる。そのため、古くから産業界での製品検査装置から医療検査装置まで幅広く用いられている。我々は、通常の白色干渉法では計測が難しい薄膜の反射面形状計測に主眼を置き、とびとびの離散的な周波数成分から成る波長幅の広い特殊な光の周波数成分を走査可能な光源をSuper luminescent diodeと空間周波数フィルタ及び空間光変調器を用いて制作し、その干渉特性を生かした新しい計測システムを開発した。
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