帯電二次元分布可視化計測システムの開発

• 研究課題/領域番号: 23760377
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 計測工学
• 研究機関: 独立行政法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 菊永 和也 独立行政法人産業技術総合研究所, 生産計測技術研究センター, 研究員 (10581283)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2012年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2011年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
• キーワード: 計測システム / 帯電 / 計測技術 / 音波 / 電界 / 可視化 / 電磁界

研究概要

本研究では帯電体振動法を用いて非接触で帯電を可視化するために、電界から静電気の情報に変換するための技術を確立し、空気中において十分な音圧が得られる集束音波が発生可能な音響デバイスを開発した。これらを用いて集束音波によって非近接で局所的に振動させ、その位置における電界の情報を測定することで、帯電の二次元分布を可視化する計測システムの開発に成功した。

研究成果

• [雑誌論文] Measuring technique for static electricity using focused sound (2013)
  • 著者名/発表者名: K. Kikunaga, T. Hoshi, H. Yamashita, Y.Fujii and K. Nonaka
  • 雑誌名: Journal of Electrostatics 巻: vol. 71 号: 3 ページ: 554-557
  • DOI: 10.1016/j.elstat.2012.11.031
  • 査読あり
• [雑誌論文] 集束超音波を用いた非近接型静電気計測技術 (2013)
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 雑誌名: 静電気学会講演論文集 巻: - ページ: 51-54
• [雑誌論文] 誘起電界を用いた静電気計測技術 (2012)
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 雑誌名: 電気学会研究会資料 巻: IM-12 ページ: 19-22
  • NAID: 10031141897
• [雑誌論文] 音波を用いて静電気を計測する技術を開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 雑誌名: 産総研Today 巻: 12-6 ページ: 23-23
• [雑誌論文] A Study of Electrostatic Charge on Insulating Film by Electrostatic Force Microscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: K. Kikunaga, K. Toosaka, T. Kamohara, K.Sakai and K. Nonaka
  • 雑誌名: Journal of Physics: Conference Series 巻: vol. 301 ページ: 012043-012043
  • DOI: 10.1088/1742-6596/301/1/012043
  • 年月日: 2011-06-23
  • 査読あり
• [雑誌論文] 誘起電界を用いた静電気計測技術
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也、山下 博史、藤井 義貴、野中一洋
  • 雑誌名: 電気学会研究会資料 巻: vol. IM-12 ページ: 19-22
  • NAID: 10031141897
• [学会発表] 静電気計測のための誘導低周波電界に関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 菊永和也
  • 学会等名: 応用物理学会
  • 発表場所: 神奈川工科大学(神奈川県)
  • 年月日: 2013-03-27
• [学会発表] 集束超音波を用いた非近接型静電気計測技術 (2013)
  • 著者名/発表者名: 菊永和也
  • 学会等名: 静電気学会
  • 発表場所: 東京大学(東京都)
  • 年月日: 2013-03-07
• [学会発表] 誘起電界を用いた静電気計測技術 (2012)
  • 著者名/発表者名: 菊永和也
  • 学会等名: 電気学会計測研究会
  • 発表場所: 佐賀大学(佐賀県)
  • 年月日: 2012-11-29
• [学会発表] 集束超音波を用いた静電気分布計測技術の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 菊永和也
  • 学会等名: 応用物理学会
  • 発表場所: 愛媛大学(愛媛県)
  • 年月日: 2012-09-12
• [学会発表] 音波振動を用いた静電気計測技術 (2012)
  • 著者名/発表者名: 菊永和也
  • 学会等名: 応用物理学会
  • 発表場所: 早稲田大学(東京都)
  • 年月日: 2012-03-16
• [学会発表] 音波振動を用いた静電気計測技術 (2012)
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 学会等名: 応用物理学会
  • 発表場所: 早稲田大学（東京都）
• [学会発表] Neutralization effect of Static Electricity in Localized Region on Wafer by Electrostatic Force Microscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: K. Kikunaga
  • 学会等名: International Symposium on Surface Science
  • 発表場所: Tower Hall Funabori, Tokyo
  • 年月日: 2011-12-14
• [学会発表] Detection of Electrostatic Charge using Charged Material Oscillation (2011)
  • 著者名/発表者名: K. Kikunaga
  • 学会等名: 2nd ISNPEDADM-2011
  • 発表場所: Institut de Recherche pour le Developpement, New Caledonia
  • 年月日: 2011-11-15
• [学会発表] 音波を用いた帯電計測手法の開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 菊永和也
  • 学会等名: 電気学会
  • 発表場所: 東京工業大学(東京都)
  • 年月日: 2011-09-21
• [学会発表] 帯電体振動法を用いた静電気計測技術の開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 菊永和也
  • 学会等名: 静電気学会
  • 発表場所: 東京理科大学(東京都)
  • 年月日: 2011-09-12
• [学会発表] 音波を用いた静電気計測技術の開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 菊永和也
  • 学会等名: 応用物理学会
  • 発表場所: 山形大学(山形県)
  • 年月日: 2011-08-29
• [学会発表] A Study of Electrostatic Charge on Insulating Film by Electrostatic Force Microscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: K. Kikunaga
  • 学会等名: 13th International Conference on Electrostatics
  • 発表場所: Bangor university , United Kingdom
  • 年月日: 2011-04-11
• [学会発表] A Study of Electrostatic Charge on Insulating Film by Electrostatic Force Microscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 学会等名: 13th International Conference on Electrostatics
  • 発表場所: Bangor University （British）
• [学会発表] 音波を用いた静電気計測技術の開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 学会等名: 応用物理学会
  • 発表場所: 山形大学（山形県）
• [学会発表] 帯電体振動法を用いた静電気計測技術の開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 学会等名: 静電気学会
  • 発表場所: 東京理科大学（東京都）
• [学会発表] 音波を用いた帯電計測手法の開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 学会等名: 電気学会
  • 発表場所: 東京工業大学（東京都）
• [学会発表] Detection of Electrostatic Charge using Charged Material Oscillation (2011)
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 学会等名: 2nd ISNPEDADM-2011
  • 発表場所: Institutde Recherche pour le Développement （New Caledonia）
• [学会発表] Neutralization effect of Static Electricity in Localized Region on Wafer by Electrostatic Force Microscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 学会等名: International Symposium on Surface Science
  • 発表場所: Tower Hall Funabori （Tokyo）
• [学会発表] 静電気計測のための誘導低周波電界に関する研究
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 学会等名: 応用物理学会
  • 発表場所: 神奈川工科大学（神奈川県）
• [学会発表] 集束超音波を用いた非近接型静電気計測技術
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 学会等名: 静電気学会
  • 発表場所: 東京大学（東京都）
• [学会発表] 誘起電界を用いた静電気計測技術
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 学会等名: 電気学会計測研究会
  • 発表場所: 佐賀大学（佐賀県）
• [学会発表] 集束超音波を用いた静電気分布計測技術の開発
  • 著者名/発表者名: 菊永 和也
  • 学会等名: 応用物理学会
  • 発表場所: 愛媛大学（愛媛県）
• [産業財産権] 静電気量計測装置、静電気量計測方法 (2012)
  • 発明者名: 菊永和也
  • 権利者名: 独立行政法人産業技術総合研究所
  • 出願年月日: 2012-04-11
  • 外国
• [産業財産権] 静電気量計測装置、静電気量計測方法 (2012)
  • 発明者名: 菊永 和也
  • 権利者名: 独立行政法人産業技術総合研究所
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2012-04-11
  • 外国