熱電薄膜表面への反射防止構造の作製

• 研究課題/領域番号: 23760706
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 独立行政法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 溝尻 瑞枝 独立行政法人産業技術総合研究所, サステナブルマテリアル研究部門, 研究員 (70586594)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2012年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2011年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
• キーワード: 微細加工 / 熱電薄膜デバイス / 微細周期構造 / リソグラフィ / 反射率 / 反射防止構造 / 熱電発電 / 熱電薄膜

研究概要

本研究では, 太陽光に対して高い反射率を有する熱電薄膜の表面に反射防止構造を作製し,その反射率を低減させた.更には,熱電薄膜発電モジュールの高温部表面に反射防止構造を付与し,均一な強度の光を照射した場合に,高温部と低温部の表面反射率の違いによりモジュール内に温度差が形成され,正の開放電圧が得られることを明らかにした.

研究成果

• [雑誌論文] P-type Sb_2Te_3 and n-type Bi_2Te_3 Films for Thermoelectric Modules deposited by Thermally-assisted Sputtering Method (2013)
  • 著者名/発表者名: M. Mizoshiri, M. Mikami, K. Ozaki
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: (accepted)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Thermal-photovoltaic Hybrid Solar Generator using Thin-film Thermoelectric Modules (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Mizoshiri, M. Mikami, K. Ozaki
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: Vol. 51
  • NAID: 210000140826
  • 査読あり
• [雑誌論文] Thin-Film Thermoelectric Modules for Power Generation Using Focused Solar Light (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Mizoshiri, M. Mikami, K. Ozaki, K. Kobayashi
  • 雑誌名: Journal of Electronic Materials 巻: Vol. 41 ページ: 1713-1719
  • 査読あり
• [雑誌論文] ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による熱電厚膜の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝
  • 雑誌名: Proceedings of the 27th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied System ページ: 379-383
  • 査読あり
• [雑誌論文] Flexible thin-film thermoelectric generator inserting Cr buffer layer (2012)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 雑誌名: Proceedings of Power MEMS 2012 ページ: 468-471
  • 査読あり
• [雑誌論文] P-type Sb2Te3 and n-type Bi2Te3 Films for Thermoelectric Modules deposited by Thermally-assisted Sputtering Method (2012)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics
  • 査読あり
• [雑誌論文] Flexible thin-film thermoelectric generator inserting Cr buffer layer
  • 著者名/発表者名: M. Mizoshiri, Masashi Mikami, Kimihiro Ozaki
  • 雑誌名: Proceedings of Power MEMS 2012 ページ: 468-471
• [雑誌論文] ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による熱電厚膜の作製
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝,三上祐史,尾崎公洋
  • 雑誌名: Proceedings of the 27th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied System ページ: 379-383
• [学会発表] 耐熱マスクを用いた熱電厚膜のリフト・オフパターニング (2013)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝,三上祐史,尾崎公洋
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学(厚木市)
  • 年月日: 2013-03-29
• [学会発表] 耐熱マスクを用いた熱電厚膜のリフト･オフパターニング (2013)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝
  • 学会等名: 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学（厚木市）
• [学会発表] Flexible thin-film thermoelectric generator inserting Cr buffer layer (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Mizoshiri, M. Mikami, K. Ozaki
  • 学会等名: Power MEMS2012
  • 発表場所: Atlanta (USA)
  • 年月日: 2012-12-03
• [学会発表] P-type Sb_2Te_3 and n-type Bi_2Te_3 films for thermoelectric modules deposited by thermally -assisted sputtering method (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Mizoshiri, M. Mikami, K. Ozaki
  • 学会等名: 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012)
  • 発表場所: 神戸コンベンションセンター(神戸市) .
  • 年月日: 2012-11-01
• [学会発表] ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による熱電厚膜の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝,三上祐史,尾崎公洋
  • 学会等名: 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 北九州国際会議場および西日本総合展示場(北九州市)
  • 年月日: 2012-10-24
• [学会発表] ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による膜状熱電モジュールの作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝,三上祐史,尾崎公洋
  • 学会等名: 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学(松山市)
  • 年月日: 2012-09-12
• [学会発表] ターゲット加熱型スパッタ成膜法による熱電厚膜の高速作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝,三上祐史,尾崎公洋
  • 学会等名: 第59回応用物理学関連連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学(東京)
  • 年月日: 2012-03-17
• [学会発表] ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による膜状熱電モジュールの作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝
  • 学会等名: 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学（松山市）
• [学会発表] ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による熱電厚膜の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝
  • 学会等名: 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 北九州国際会議場および西日本総合展示場（北九州市）
• [学会発表] P-type Sb2Te3 and n-type Bi2Te3 films for thermoelectric modules deposited by thermally-assisted sputtering method (2012)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012)
  • 発表場所: 神戸コンベンションセンター（神戸市）
• [学会発表] Flexible thin-film thermoelectric generator inserting Cr buffer layer (2012)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: Power MEMS 2012
  • 発表場所: アトランタ（USA）
• [学会発表] ターゲット加熱型スパッタ成膜法による熱電厚膜の高速作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝
  • 学会等名: 第59回応用物理学関連連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学（東京）
• [学会発表] Thermal-photovoltaic Hybrid Solar Generator using Thin-film Thermoelectric Modules (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Mizoshiri, M. Mikami, K. Ozaki
  • 学会等名: 24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: ANA Hotel Kyoto (Kyoto)
  • 年月日: 2011-10-25
• [学会発表] 太陽光集光型薄膜熱電発電モジュールの作製と評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝,三上祐史,尾崎公洋
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学(山形)
  • 年月日: 2011-08-30
• [学会発表] Thin-Film Thermoelectric ModulesforPowerGenerationUsingFocusedSolarLight,JournalofElectronicMaterials (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Mizoshiri, M. Mikami, K. Ozaki, K. Kobayashi
  • 学会等名: The 30th International Conference on Thermoelectrics
  • 発表場所: Michigan (USA)
  • 年月日: 2011-07-19
• [学会発表] Thin-film thermoelectric modules for power generation using focused solar light (2011)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: The 30th International Conference on Thermoelectrics
  • 発表場所: Grand Traverse Resort and Spa, Traverse City, Michigan (USA)
• [学会発表] 太陽光集光型薄膜熱電発電モジュールの作製と評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学（山形）
• [学会発表] Thermal-photovoltaic Hybrid Solar Generator using Thin-film Thermoelectric Modules (2011)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: 24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: ANA Hotel Kyoto, Kyoto (Japan)