超臨界二酸化炭素中のポリイミド生成挙動解明と微細加工技術への応用

• 研究課題/領域番号: 23760722
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 化工物性・移動操作・単位操作
• 研究機関: 広島大学
• 研究代表者: 春木 将司 広島大学, 大学院・工学研究院, 助教 (90432682)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2012年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円); 2011年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
• キーワード: ポリイミド / 超臨界二酸化炭素 / 薄膜 / 埋め込み / 微細加工 / ポリアミド酸

研究概要

本研究では、まず、超臨界二酸化炭素中においてポリイミド中間体であるポリアミド酸生成時における流体相状態の変化を明らかにするとともに、重合条件と生成ポリアミド酸の分子量の関係を明らかにした。さらに、高圧ポリイミド微細加工装置を新規開発し、超臨界二酸化炭素中における操作条件とポリイミド薄膜成膜速度ならびに膜形状の関係を明らかにした。また、微細加工を付した基板上への埋め込みについて検討した。

研究成果

• [雑誌論文] Solubilities of cobalt(III) and chromium(III) acetylacetonates in supercritical carbon dioxide at elevated temperatures (2013)
  • 著者名/発表者名: Masashi Haruki
  • 雑誌名: Fluid Phase Equilibria 巻: 0 ページ: 0-0
  • 査読あり
• [雑誌論文] Measurement and prediction of the solubilities of aromatic polyimide monomers in supercritical carbon dioxide with acetone (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Haruki, N. Fukui, S. Kihara, S. Takishima
  • 雑誌名: J. Chem. Thrmodyn. 巻: 54 ページ: 261-265
  • 査読あり
• [雑誌論文] Measurement and prediction of the solubilities of aromatic polyimide monomers in supercritical carbon dioxide with acetone (2012)
  • 著者名/発表者名: Masashi Haruki
  • 雑誌名: The Journal of Chemical Thermodynamics 巻: 54 ページ: 261-265
  • 査読あり
• [雑誌論文] Solubilities of cobalt(III) and chromium(III) acetylacetonates in supercritical carbon dioxide at elevated temperatures
  • 著者名/発表者名: M. Haruki, M. Ohara, S. Kihara, S. Takishima
  • 雑誌名: Fluid Phase Equilib 巻: (in press)
  • 査読あり
• [学会発表] Measurement and calculation of solubilities for the organic metal complexes in supercritical carbon dioxide (2013)
  • 著者名/発表者名: M. Haruki, M. Ohara, M. Morioka, S. Kihara, S. Takishima
  • 学会等名: 13th International Conference on Properties and Phase Equilibria for Products and Process Design
  • 発表場所: Iguazu Falls, Argentina
  • 年月日: 2013-05-29
• [学会発表] 超臨界二酸化炭素を利用したポリイミドの微細加工に関する基礎的検討 (2013)
  • 著者名/発表者名: 長谷川優美、福井直也、春木将司、木原伸一、滝嶌繁樹
  • 学会等名: 化学工学会第78年会
  • 発表場所: 豊中市
  • 年月日: 2013-03-18
• [学会発表] 金属錯体の昇華圧と超臨界二酸化炭素に対する溶解度 (2013)
  • 著者名/発表者名: 森岡美帆、大原未奈美、春木将司、木原伸一、滝嶌繁樹
  • 学会等名: 第15回化学工学会学生発表会北九州大会
  • 発表場所: 北九州市
  • 年月日: 2013-03-02
• [学会発表] 金属錯体の昇華圧と超臨界二酸化炭素に対する溶解度 (2013)
  • 著者名/発表者名: 森岡美帆
  • 学会等名: 第15回化学工学会学生発表会 北九州大会
  • 発表場所: 北九州市
• [学会発表] Polymerization of polyimide monomers in supercritical carbon dioxide (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Hasegawa, M. Haruki, N. Fukui, S. Kihara, S. Takishima
  • 学会等名: 6th International Symposium on Molecular Thermodynamics and Molecular Simulation
  • 発表場所: Higashi-Hiroshima, Japan
  • 年月日: 2012-09-27
• [学会発表] 超臨界二酸化炭素中におけるポリアミド酸の重合 (2012)
  • 著者名/発表者名: 長谷川優美、福井直也、春木将司、木原伸一、滝嶌繁樹
  • 学会等名: 第14回化学工学会学生発表会宇部大会
  • 発表場所: 宇部市
  • 年月日: 2012-03-03
• [学会発表] 超臨界二酸化炭素中におけるポリアミド酸の重合
  • 著者名/発表者名: 長谷川優美、福井直也、春木将司、木原伸一、滝嶌繁樹
  • 学会等名: 第14回化学工学会学生発表会宇部大会
  • 発表場所: 宇部工業高等専門学校
• [備考]
  • URL: http://home.hiroshima-u.ac.jp/highpres/
• [産業財産権] ポリイミド膜の成膜方法、半導体の製造方法及び成膜装置 (2012)
  • 発明者名: 春木将司、滝嶌繁樹、木原伸一、堀川貢弘、大出裕之
  • 権利者名: 国立大学法人広島大学、エルピーダ
  • 産業財産権番号: 2012-172344
  • 出願年月日: 2012-08-02