研究課題
若手研究(B)
高周波放電式マイクロイオン推進機に対して回路モデルと粒子計算モデルを用いた数値計算,および,イオン源のプラズマ密度測定とイオンビーム電流測定を行うことでイオン源の放電特性およびビーム引き出し機構の解析を行った.その結果,低電力で高いプラズマ密度を得るには RF 周波数 200-300 MHz での放電が適当であり,容量結合の効果が無視できないこと,また,イオンビームを引き出すのに最適な流量が存在し,これらの傾向は数値解析結果と合致することが分かった.
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J. Appl. Phys
巻: 112 号: 9 ページ: 93306-93306
10.1063/1.4764333
120004920433
http://hdl.handle.net/2433/161047