サーモグラフィによる薄膜機能性材料の熱特性高速評価法

• 研究課題/領域番号: 23860019
• 研究種目: 研究活動スタート支援
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 機械材料・材料力学
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 青野 祐子 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (20610033)
• 研究期間 (年度): 2011
• 研究課題ステータス: 完了 (2011年度)
• 配分額: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2011年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
• キーワード: 薄膜機能性材料 / コンビナトリアル手法 / ハイスループット評価 / 薄膜形状記憶合金

研究概要

異なる組成の薄膜サンプルを集積した薄膜ライブラリを用い,薄膜サンプルの熱特性を高速で評価することを目指した.評価はサーモグラフィにより放射率変化を検出することで行い,薄膜ライブラリの表面粗さを増加させることによって,この検出感度の向上が図れることを明らかにした.また,薄膜形状記憶合金の薄膜ライブラリを製作し,提案する手法で加熱・冷却の双方向の変態温度およびその温度ヒステリシスを一括評価することに成功した.

研究成果

• [雑誌論文] Searching for Noble Ni-Nb-Zr Thin Film Amorphous Alloys for Optical Glass Device Molding Die Materials (2011)
  • 著者名/発表者名: Junpei Sakurai, Mitsuhiro Abe, Masahiro Ando, Yuko Aono, Seiichi Hata
  • 雑誌名: Precision Engineering 巻: Vol.35 ページ: 537-546
  • 査読あり
• [雑誌論文] Novel Thermographic Method for Characterizing Transformation Temperatures of Thin Film Shape Memory Alloys Aimed at Combinatorial Approach (2011)
  • 著者名/発表者名: Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe, Seiichi Hata
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: Vol.50 ページ: 666011-666015
  • NAID: 40018868746
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-throughput Characterization Method for Crystallization Temperature of Integrated Thin Film Amorphous Alloys Using Thermography (2011)
  • 著者名/発表者名: Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe, Seiichi Hata
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: Vol.50 ページ: 556011-556019
  • NAID: 210000138835
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-throughput characterization method for crystallization temperature of integrated thin film amorphous alloys using thermography (2011)
  • 著者名/発表者名: Aono Y., Sakurai J., Shimokohbe A., Hata S.
  • 雑誌名: Applied Physics Express 巻: 50 号: 5R ページ: 055601-055601
  • DOI: 10.1143/jjap.50.055601
  • NAID: 40018812643
  • 査読あり
• [雑誌論文] Novel Thermographic Method for Characterizing Transformation Temperatures of Thin Film Shape Memory Alloys Aimed at Combinatorial Approach (2011)
  • 著者名/発表者名: Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe, and Seiichi Hata
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: vol.50 号: 6R ページ: 066601-066601
  • DOI: 10.1143/jjap.50.066601
  • NAID: 210000070642
  • 査読あり
• [雑誌論文] Searching for noble Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys for optical glass device molding die materials (2011)
  • 著者名/発表者名: Junpei Sakurai, Mitsuhiro Abe, Masayuki Ando, Yuko Aono, Seiichi Hata
  • 雑誌名: Precision Engineering 巻: vol.35No.4 号: 4 ページ: 537-546
  • DOI: 10.1016/j.precisioneng.2011.05.004
  • 査読あり
• [学会発表] 薄膜形状記憶合金の変態温度ハイスループット測定法 (2012)
  • 著者名/発表者名: 川口龍太郎,青野祐子,桜井淳平,中光豊,秦誠一
  • 学会等名: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2012-03-15
• [学会発表] High-Throughput Characterization of Time-Dependent Crystallization of Ni-Nb-Zr Thin Film Alloys (2011)
  • 著者名/発表者名: uko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe, Seiichi Hata
  • 学会等名: 2011 Materials Research Society Autumn meeting
  • 発表場所: Boston
  • 年月日: 2011-11-29
• [学会発表] High-Throughput Characterization of Time-Dependent Crystallization of Ni-Nb-Zr Thin Film Alloys (2011)
  • 著者名/発表者名: Yuko Aono, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe, Seiichi Hata
  • 学会等名: 2011 Materials Research Society Autumn meeting
  • 発表場所: Boston, USA
  • 年月日: 2011-11-29
• [学会発表] 薄膜ライブラリを用いた形状記憶合金の変態温度測定法 (2011)
  • 著者名/発表者名: 川口龍太郎,青野祐子,桜井淳平,秦誠一
  • 学会等名: 日本機械学会第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2011-09-26
• [学会発表] サーモグラフィによる薄膜アモルファス合金のハイスループット結晶化挙動解明法I (2011)
  • 著者名/発表者名: 青野祐子,桜井淳平,下河辺明,秦誠一
  • 学会等名: 日本機械学会2011年度年次大会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2011-08-14
• [学会発表] サーモグラフィによる薄膜アモルファス合金のハイスループット結晶化挙動解明法II (2011)
  • 著者名/発表者名: 青野祐子,桜井淳平,下河辺明,秦誠一
  • 学会等名: 日本機械学会2011年度年次大会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2011-08-14
• [学会発表] 薄膜金属材料の相変態コンビナトリアル評価法における検出感度向上 (2011)
  • 著者名/発表者名: 川口龍太郎,青野祐子,桜井淳平,秦誠一
  • 学会等名: 日本機械学会2011年度年次大会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2011-08-14
• [学会発表] Pd基薄膜金属ガラスの放射率変化を利用した熱的特性の迅速評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 秦誠一,桜井淳平,川口龍太郎,青野祐子
  • 学会等名: 粉体粉末冶金協会平成23年度春季大会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2011-05-30
• [備考]
  • URL: http://www.nethata.pi.titech.ac.jp