| 研究課題/領域番号 |
23860022
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| 研究種目 |
研究活動スタート支援
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 電気通信大学 |
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研究代表者 |
石橋 孝一郎 電気通信大学, 情報理工学研究科, 教授 (50614038)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2012年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2011年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
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| キーワード | MEMS / エネルギーハーベスティング / マイクロマシン / 電子デバイス / 低消費電力 |
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| 研究概要 |
MEMS共振器を共振させて電波のエネルギーを蓄積し、極低電力の無線LSIチップを駆動できる電力を取得する研究を行った。梁の長さ50umのカンチレバー型及び半径50umの円環型のMEMS共振器を考案し解析を行った結果、共振時の弾性エネルギーをカンチレバー型の5.7E-11[J]から円環型の8.2E-10[J]と1桁以上の向上を期待できることを明らかにした。円環型のMEMS共振器の製作を行ない、解析した共振周波数に近い996KHzの共振周波数特性を観測した。
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