局所場における光テラヘルツ波変換モデルリングと半導体分析応用

• 研究課題/領域番号: 23H00184
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 中区分21:電気電子工学およびその関連分野
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 斗内 政吉 大阪大学, レーザー科学研究所, 教授 (40207593)
• 研究分担者: 芹田 和則 早稲田大学, 理工学術院(情報生産システム研究科・センター), 准教授(任期付) (00748014) ; 谷川 智之 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (90633537) ; 木村 真一 大阪大学, 大学院生命機能研究科, 教授 (10252800)
• 研究期間 (年度): 2023-04-01 – 2026-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 48,360千円 (直接経費: 37,200千円、間接経費: 11,160千円); 2024年度: 9,100千円 (直接経費: 7,000千円、間接経費: 2,100千円); 2023年度: 30,160千円 (直接経費: 23,200千円、間接経費: 6,960千円)
• キーワード: テラヘルツ放射分光 / テラヘルツ放射顕微鏡 / 半導体工程検査技術 / 2光子励起と深さ方向分析 / FT-IR分光 / ナノ領域電荷ダイナミクス

研究開始時の研究の概要

本研究は、テラヘルツ放射分光・イメージング法を用いて、ウェファスケールの表面・深部分析からナノ・立体デバイス／ワイドギャップ半導体に及ぶ半導体R&D分析に、新しいテストソリューションを提供する。本研究は、局所場における光テラヘルツ波変換の物理現象を総合的に科学し、それらに資するシステム開発から有用性を明かにするもので、様々な半導体製造工程で利用できる新規の分析手法提供するものである。
その目的を達成するために、マイクロメートル領域の光電荷生成後の、ナノメートル領域の電荷移動を科学し、ミリメートル領域におけるテラヘルツ電磁波の励起と伝搬を総合的に理解・観測するプラットフォームを構築する。