研究課題/領域番号 |
23H00271
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研究種目 |
基盤研究(A)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
審査区分 |
中区分30:応用物理工学およびその関連分野
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研究機関 | 東京大学 |
研究代表者 |
小関 泰之 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (60437374)
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研究分担者 |
前田 拓也 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (20965694)
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研究期間 (年度) |
2023-04-01 – 2027-03-31
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研究課題ステータス |
交付 (2023年度)
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配分額 *注記 |
37,310千円 (直接経費: 28,700千円、間接経費: 8,610千円)
2024年度: 9,100千円 (直接経費: 7,000千円、間接経費: 2,100千円)
2023年度: 10,010千円 (直接経費: 7,700千円、間接経費: 2,310千円)
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キーワード | 誘導ラマン散乱 / ワイドギャップ半導体 / 顕微鏡 |
研究開始時の研究の概要 |
本研究では、ワイドギャップ半導体の不完全性の振る舞いを解明するための3次元イメージング技術を開発する。具体的には、申請者が開発した誘導ラマン散乱顕微鏡に、独自のパルスレーザ光源を適用することで、半導体計測に最適化し、ワイドギャップ半導体内の欠陥とキャリア密度の3次元イメージングを実現する。これにより、ワイドギャップ半導体デバイスの高性能化、信頼性向上、長寿命化に寄与する知見を得る。
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