研究課題/領域番号 |
23H01301
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
審査区分 |
小区分18010:材料力学および機械材料関連
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研究機関 | 名古屋大学 |
研究代表者 |
徳 悠葵 名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (60750180)
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研究期間 (年度) |
2023-04-01 – 2026-03-31
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研究課題ステータス |
交付 (2023年度)
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配分額 *注記 |
18,980千円 (直接経費: 14,600千円、間接経費: 4,380千円)
2023年度: 8,840千円 (直接経費: 6,800千円、間接経費: 2,040千円)
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キーワード | 異材界面 / 原子再配列 / 薄膜 / 高秩序化 / 結晶構造 |
研究開始時の研究の概要 |
本研究では,高周波電流を利用した金属-半導体間の異材界面における原子の再配列を実現する.これは,電子と原子の力学的相互作用,すなわち電子風力を原子配列の「揺さぶり」として作用させることにより,自発的に原子を最小ポテンシャルエネルギーの位置へと再配列させる独創的な手法である.これにより,結晶方位の整列,結晶粒の増大,最密結晶面の増加,欠陥の消滅を誘起し,前人未到の異材界面における原子配列制御を実現し,半導体製造プロセスにおける原子スケール界面制御手法を創出する.さらに,高周波電流がなす原子の駆動機構を解明し,熱処理に依らない電子風力を基盤とした原子配列・結晶構造の制御法として学理構築を目指す.
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