研究課題/領域番号 |
23H03662
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
審査区分 |
小区分80040:量子ビーム科学関連
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研究機関 | 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 |
研究代表者 |
神谷 潤一郎 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構, 原子力科学研究部門 J-PARCセンター, 研究主幹 (20391336)
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研究分担者 |
杉田 剛 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構, 原子力科学研究部門 原子力科学研究所 物質科学研究センター, 研究職 (80772342)
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研究期間 (年度) |
2023-04-01 – 2026-03-31
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研究課題ステータス |
交付 (2023年度)
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配分額 *注記 |
18,720千円 (直接経費: 14,400千円、間接経費: 4,320千円)
2023年度: 9,490千円 (直接経費: 7,300千円、間接経費: 2,190千円)
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キーワード | 超高真空技術 / 表面分析 / ゲッターポンプ / ターボ分子ポンプ |
研究開始時の研究の概要 |
次世代加速器の大強度化、高輝度化には超高真空の高度化が必須である。本研究の概要は、これまでにない高性能な超高真空ポンプとして、ゲッター機能付きチタン合金製の自由形状なターボ分子ポンプを開発する。そのための積層造形技術の真空特性研究、3次元形状翼の最適化を行い、機械的な側面から真空ポンプ性能を高度化研究を行う。さらに、NEGコーティングしたチタンへの化学吸着・拡散の機構解明及び表面制御によるゲッター性能高度化研究を行う。本研究の成果は、大強度加速器や次世代放射光の真空のボトルネックを解決した上で省電力化を実現するとともに、半導体等の成長産業装置への社会実装に繋がるイノベーション技術となる。
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