研究課題
基盤研究(C)
本研究は,きさげ面に形成された粗面の表面微細形状を測定するために,近赤外レーザ光源を用いたアブラムソン型斜入射干渉計の開発し,光源波長に基づいた精密三次元計測を目的とする.【1】干渉縞位相シフト機能を有した近赤外レーザ斜入射干渉計を開発し,測定光入射角の減少による測定不能領域の解消を試みる.【2】パターンマッチングによる表面形状データの精密位置合せにより測定システムのアライメント誤差を補正し,スティッチング(繋ぎ合せ)処理により,きさげ面表面形状のnmオーダ高分解能と広測定範囲の両立する.