マルチパルスプラズマを用いた高効率で持続可能なスパッタ方式による機能性材料の作成

• 研究課題/領域番号: 23K03817
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分21010:電力工学関連
• 研究機関: 名古屋工業大学
• 研究代表者: 木村 高志 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (60225042)
• 研究期間 (年度): 2023-04-01 – 2026-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2023年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2025年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円); 2024年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2023年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
• キーワード: スパッタリング / HiPIMS / プラズマ / 機能性薄膜 / ハ－ドコーティング

研究開始時の研究の概要

高い成膜速度ならびに結晶の巨大化を行う低密度マルチパルスプラズマを用いたスパッタ方式と比較的低い成膜速度ながらも緻密化ならびに微結晶化を行う高密度マルチパルスプラズマを用いたスパッタ方式の組み合わせにより材料の構造を調整しながら所望の薄膜材料特性を実現する。遷移金属窒化物やダイヤモンドライクカーボンなどのハードコーティング材料および　赤外光の反射率が材料の温度に依存することからスマートウインドウへの応用が期待される二酸化バナジウムや光触媒機能を有する二酸化チタンなどの金属酸化物を作成する。